[发明专利]一种薄膜电阻产热均匀性的检测方法

说明书

本发明提供了一种薄膜电阻产热均匀性的检测方法，属于薄膜电阻技术领域。它解决了现有的技术无法判断薄膜电阻产热是否均匀的问题。本薄膜电阻产热均匀性的检测方法包括：建立三维坐标系；给镀在厚度为L的导热介质表面的薄膜电阻通电流，构成模拟热源；加热时间t₀后，测量薄膜电阻表面的温度，得到T₀(x，y，z＝L，t＝t₀)；对热流密度q(x，y)进行构建，将求得的q_i(x，y)通过判断薄膜电阻产热是否均匀的等式进行求解，在U的数值等于1时判断薄膜电阻产热是均匀的。本检测方法能够提高薄膜电阻产热均匀性判断的精确性。

技术领域

本发明属于薄膜电阻技术领域，涉及一种薄膜电阻产热均匀性的检测方法。

背景技术

薄膜电阻是指采用金属镀膜技术，将一层或多层薄的金属镀在各种器件的表面，形成电阻。薄膜电阻具有比表面积大、能承受大功率等众多优点，随着新兴电子产业的发展，薄膜电阻的需求缺口越来越大，而且对质量和性能的要求也越来越高，由于薄膜电阻在使用时不可避免地产生热量，而热量的堆积对于电阻的性能、寿命都有很大的影响，所以，迫切需要一种散热性好、热稳定性优的薄膜电阻，以满足高端市场的需求，因此，需要对薄膜电阻产热进行标定，即获得薄膜电阻产热均匀性。

针对上述存在的问题，现有中国专利文献公开了一种改善太阳能电池扩散薄膜电阻片内均匀性的方法【申请号：CN201010152171.8】，包括下列步骤：i、将经扩散炉管扩散后得到的硅片进行扩散薄膜电阻分布测试。ii、根据扩散薄膜电阻分布测试，得到硅片的扩散薄膜分布测试数据。iii、根据硅片的扩散薄膜分布测试数据，调节石英舟的支撑脚高度h或调节石英舟的卡槽位置。该发明虽然通过调节石英舟的支撑脚高度和石英舟的卡槽位置，来调节石英舟上硅片的位置，使硅片位于扩散炉管的热量均衡点处，硅片上、下、左、右受热均匀，制作出的太阳能电池的扩散薄膜电阻片内均匀性较好，但是该发明并不能确定制作出的太阳能电池的扩散薄膜电阻片产热就是均匀的，因此，很必要提出一种薄膜电阻产热均匀性的检测方法来获取薄膜电阻的产热均匀性。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种薄膜电阻产热均匀性的检测方法，该检测方法所要解决的技术问题是：如何提高薄膜电阻产热均匀性判断的精确性。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种薄膜电阻产热均匀性的检测方法，包括：建立三维坐标系；给镀在厚度为L的导热介质表面的薄膜电阻通电流，构成模拟热源；加热时间t₀后，测量薄膜电阻表面的温度，得到T₀(x，y，z＝L，t＝t₀)；其特征在于，所述检测方法还包括：

对热流密度q(x，y)进行构建，令：q(x,y)＝q₀+P_n(x)*P_m(y)，其中，

m和n为常数，q₀为假定的均匀热流密度；通过对m和n取不同数值从而得到对应T₀(x，y，z＝L，t＝t₀)差值最小的热流密度q_i(x，y)；将求得的q_i(x，y)代入下述等式中以判断薄膜电阻产热是否均匀，在U的数值等于1时判断薄膜电阻产热是均匀的，

式中：q_ij(x，y)为薄膜电阻的热流密度，为平均热流密度，n为取样点数。