[发明专利]一种制备复合薄膜的装置

权利要求书

1.一种制备复合薄膜的装置，包括真空系统、生长腔、内加热器、蒸发源，其特征在于，所述蒸发源通过法兰盘固定到生长腔上，所述内加热器采用双加热头，可分别适应CVD生长以及MBE生长。

2.如权利要求1所述的一种复合薄膜的装置，其特征在于所述内加热器有上下两组加热头，上方为化学气相沉积用双加热层加热器，下方为分子束外延生长用单加热层加热器，可通过驱动装置抓取样品架来实现不同工艺生长复合薄膜。

3.如权利要求1所述的一种制备复合薄膜的装置，其特征在于所述真空系统由多级泵组组成，如机械泵、分子泵、钛泵的两种或两种以上的组合，实现超高真空环境。

4.如权利要求2所述的一种制备复合薄膜的装置，其特征在于所述驱动装置为磁力杆、机械手中的一种或两者的组合。