[发明专利]压印模具以及压印模具制造方法

权利要求书

1.一种压印模具，其特征在于，具有多个相同或不同的模具图案，该些模具图案间不存在高度段差。

2.一种压印模具，其特征在于，该压印模具表面包含：

一第一区域，该第一区域内设置有一第一模具图案，该第一模具图案具有一第一线宽及一第一深度；

一第二区域，该第二区域内设置有一第二模具图案，该第二模具图案具有一第二线宽及一第二深度；以及

一重迭区域，位于该第一区域及该第二区域之间，该重迭区域内设置有一第三模具图案，该第三模具图案具有一第三线宽及一第三深度；

其中，该第一模具图案、该第二模具图案及该第三模具图案的顶面位于同一水平，该第三线宽≦该第一线宽或该第二线宽，该第三深度≦该第一深度或该第二深度。

3.根据权利要求2所述的压印模具，其特征在于，该第三模具图案包含多个第三图案单元，该多个第三图案单元的每一个的根部具有一突出部，该多个第三图案单元的每一个于该突出部以及该突出部以外部分分别具有一突出线宽及该第三线宽。

4.一种压印模具，其特征在于，该压印模具表面包含：

一第一区域，该第一区域内设置有一第一模具图案，该第一模具图案具有一第一线宽及一第一深度；

一第二区域，该第二区域内设置有一第二模具图案，该第二模具图案具有一第二线宽及一第二深度；以及

一重迭区域，位于该第一区域及该第二区域之间，该重迭区域下凹并具有一第三深度；

其中，该第一模具图案及该第二模具图案的顶面位于同一水平，该第三深度≦该第一深度或该第二深度。

5.根据权利要求2至4任一项所述的压印模具，其特征在于，该第一深度与该第二深度相等或不相等。

6.根据权利要求2至4任一项所述的压印模具，其特征在于，该第一线宽与该第二线宽相等或不相等。

7.一种压印模具，其特征在于，该压印模具表面包含：

一第一区域，该第一区域内设置有一第一模具图案，该第一模具图案具有一第一线宽及一第一深度；

一第二区域，该第二区域内设置有一第二模具图案，该第二模具图案具有一第二线宽及一第二深度，该第一区域及该第二区域之间具有一间距；

其中，该第一模具图案及该第二模具图案的顶面位于同一水平，该间距与该第一线宽及该第二线宽均不相等。

8.根据权利要求7所述的压印模具，其特征在于，该第一深度与该第二深度相等或不相等。

9.根据权利要求7所述的压印模具，其特征在于，该第一线宽与该第二线宽相等或不相等。

10.一种压印模具制造方法，其特征在于，包含：

步骤S1000：设置一模具图案层于一基材上；

步骤S2000：于该模具图案层上设置一第一硬掩膜层，其中该第一硬掩膜层具有一个或多个第一镂空区域；

步骤S3000：在该模具图案层形成一第一模具图案，其中该第一模具图案的范围与该第一镂空区域于该模具图案层的垂直投影范围完全重迭；

步骤S4000：去除该第一硬掩膜层；

步骤S5000：于该模具图案层上设置一第二硬掩膜层，其中该第二硬掩膜层具有一个或多个第二镂空区域，其中该第二镂空区域于该模具图案层的垂直投影范围与该第一模具图案相邻接；

步骤S6000：在该模具图案层形成一第二模具图案，其中该第二模具图案的范围与该第二镂空区域于该模具图案层的垂直投影范围完全重迭；

步骤S7000：去除该第二硬掩膜层。

11.根据权利要求10所述的压印模具制造方法，其特征在于，该步骤S3000包含：

于该第一硬掩膜层与该第一镂空区域上设置一第一压印光刻胶层；

对该第一压印光刻胶层的一第一压印区域进行压印以形成一第一压印图案，其中该第一压印区域于该第一硬掩膜层的垂直投影范围完全涵盖该第一镂空区域的范围；

对该第一压印光刻胶层以及该模具图案层进行蚀刻以在该模具图案层形成该第一模具图案。