[发明专利]指纹识别装置及其制造方法、移动终端及指纹锁

权利要求书

1.一种指纹识别装置，包括：

基板，所述基板表面上具有凸点；

指纹芯片，包括：

通过穿过衬底通孔结构与所述凸点连接的信号处理电路，

与所述信号处理电路连接的多个感应电极，和

覆盖所述多个感应电极的保护层，所述保护层具有延伸到每个感应电极的第一开口；

填充所述第一开口的导电材料；以及

位于所述导电材料之上且与所述导电材料接触的触摸盖板。

2.根据权利要求1所述的装置，还包括：

位于所述保护层上的缓冲层，从所述缓冲层的表面延伸到每个感应电极具有第二开口，所述第一开口作为所述第二开口的下半部分；

所述导电材料填充所述第二开口。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，

所述导电材料包括软性导电材料。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，

所述软性导电材料包括石墨或导电银浆。

5.根据权利要求2所述的装置，其中，

所述缓冲层包括有机聚合物。

6.一种移动终端，包括：权利要求1-5任意一项所述的指纹识别装置。

7.一种指纹锁，包括：权利要求1-5任意一项所述的指纹识别装置。

8.一种指纹识别装置的制造方法，包括：

在基板的表面上形成凸点；

形成指纹芯片，所述指纹芯片包括：

通过穿过衬底通孔结构与所述凸点连接的信号处理电路，

与所述信号处理电路连接的多个感应电极，和

覆盖所述多个感应电极的保护层，所述保护层具有延伸到每个感应电极的第一开口；

形成填充所述第一开口的导电材料；以及

在所述导电材料之上形成与所述导电材料接触的触摸盖板。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述形成填充所述第一开口的导电材料包括：

在所述保护层上形成填充所述第一开口的缓冲层；

形成从所述缓冲层的表面延伸到每个感应电极的第二开口；

形成填充所述第二开口的导电材料。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，

所述第二开口和所述第一开口对准。

11.根据权利要求8所述的方法，其中，所述在所述保护层之上形成与所述导电材料接触的触摸盖板包括：

在所述保护层上形成缓冲层；

形成从所述缓冲层的表面延伸到每个感应电极的开口，所述第一开口作为所述开口的下半部分；

形成填充所述开口的导电材料；

在所述导电材料上形成所述触摸盖板。

12.根据权利要求9-11任意一项所述的方法，其中，

所述导电材料包括软性导电材料。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，

所述软性导电材料包括石墨或导电银浆。

14.根据权利要求9或11所述的方法，其中，

所述缓冲层包括有机聚合物。