[发明专利]高精度光学元件的表面疵病检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种高精度光学元件的表面疵病检测装置，其特征在于，包括多轴机械调整模块、波前编码显微成像模块、同轴光源照明模块(100)和计算机(200)，所述多轴机械调整模块包括三轴电动位移台(310)、电动转台(320)和电动角位台(330)，所述波前编码显微成像模块包括显微物镜(410)、波前编码板(420)、转接镜筒(430)和CCD相机(440)；

所述电动转台(320)安装在所述三轴电动位移台(310)的底座(500)上；

所述显微物镜(410)、所述波前编码板(420)、所述转接镜筒(430)和所述CCD相机(440)依次连接，且所述转接镜筒(420)与所述电动角位台(330)固定连接；

所述电动角位台(330)设置在所述三轴电动位移台上(310)，且所述电动角位台(330)的法线方向与所述电动转台(320)的法线方向相垂直；

所述三轴电动位移台(310)、所述电动转台(320)和所述电动角位台(330)均与所述计算机(200)电连接；

所述同轴光源照明模块(100)通过光纤与所述显微物镜(410)连接；

所述CCD相机(440)的输出端口与所述计算机(200)的输入端口连接；

所述计算机(200)根据预设运动参数控制所述三轴电动位移台(310)、所述电动转台(320)和所述电动角位台(330)运动，且所述CCD相机(440)对放置在所述电动转台(320)上的待测光学元件进行实时表面成像，并将所述待测光学元件的表面成像数据发送至所述计算机(200)，所述计算机(200)根据图像识别方法对所述待测光学元件的表面成像进行疵病识别处理，并存储带有疵病的所述表面成像。

2.根据权利要求1所述的高精度光学元件的表面疵病检测装置，其特征在于，所述三轴电动位移台(310)包括X轴电动位移台(311)、Y轴电动位移台(312)和Z轴电动位移台(313)；

所述电动转台(320)和所述X轴电动位移台(311)安装在所述底座上；

所述Y轴电动位移台(312)与所述X轴电动位移台(311)滑动连接，所述Z轴电动位移台(313)与所述Y轴电动位移台(312)滑动连接，且所述电动角位台(330)设置在所述Z轴电动位移台(313)上。

3.根据权利要求2所述的高精度光学元件的表面疵病检测装置，其特征在于，

所述预设运动参数包括三轴电动位移台运动参数、电动转台运动参数和电动角位台运动参数；

所述三轴电动位移台运动参数为移动速度和移动方向，所述电动转台运动参数为转速，所述电动角位台运动参数为旋转速度和旋转方向。

4.根据权利要求3所述的高精度光学元件的表面疵病检测装置，其特征在于，

所述计算机(200)根据所述电动转台运动参数控制所述电动转台(320)带动所述待测光学元件转动，并根据所述三轴电动位移台运动参数调整所述X轴电动位移台(311)、所述Y轴电动位移台(312)和所述Z轴电动位移台(313)的移动速度和移动方向，根据所述电动角位台运动参数调整所述电动角位台(330)的旋转速度和旋转方向，以使所述显微物镜(410)的光轴与所述显微物镜(410)的视场内所述待测光学元件的表面法线保持平行。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的高精度光学元件的表面疵病检测装置，其特征在于，

所述CCD相机(440)的输出端口通过USB数据线与所述计算机(200)的输入端口连接。