[发明专利]一种化学气相沉积炉

说明书

本申请公开了一种化学气相沉积炉，包括炉体和设于所述炉体底部的进气装置，所述进气装置包括有主进气管路、分气器和加热器，所述主进气管路连通所述分气器，所述分气器连通所述炉体内部的炉腔，所述分气器用于向炉腔内均匀分布气流，所述加热器设在所述分气器外部，所述加热器用于对所述分气器加热。本申请提供的化学气相沉积炉，碳源气体从主进气管路进入，并通过分气器进行分散进入炉腔内，分气器可向炉腔底部空间进行均匀布气，同时缓冲气流的速率，使气流可充分与炉腔底部的产品反应，并且在分气器上设置加热器，可对进入的碳源气体进行预热，确保碳源气体在炉腔底部开始充分裂解挥发，能够在底部产品进行沉积反应，从而提高产品的整体沉积效果。

技术领域

本发明属于化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积炉。

背景技术

炭-炭复合材料是碳纤维增强碳基体的一种高性能复合材料，具有强度高、耐腐蚀、可设计性强等特点，在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用，并随着社会的发展和科技的进步，对炭-炭复合材料产品的质量有了更高的要求。

化学气相沉积是一种被广泛应用于生产炭-炭复合材料的工艺方法。现有的化学气相沉积炉或沉积系统，大多是从沉积炉的底部通过多路进气管路向沉积炉内通入碳源气体，碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉体内的沉积室的底部，并发生热解后形成基体碳沉积于坯体产品的内部或表面。由于现有的沉积炉的这种进气结构，碳源气体从进气管路直接进入沉积室底部的料盘，并以1～3m/s的速度快速进入沉积炉中部的高温区，造成沉积炉最底端的产品温度过低，达不到沉积温度，而且碳源气体迅速通过底部的产品，还未来得及在底部产品上沉积就跑到了中部产品，从而导致沉积炉内底端产品的沉积效果不佳，使得沉积炉内不同位置的产品质量不一致，或者同一个产品上不同部位的质量不一致。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种化学气相沉积炉，分气器可向炉腔底部空间进行均匀布气，同时缓冲气流的速率，使气流可充分与炉腔底部的产品反应，并且在分气器上设置加热器，可对进入的碳源气体气体进行预热，确保碳源气体在炉腔底部开始充分裂解挥发，能够在底部产品进行沉积反应，从而提高产品的整体沉积效果。

本发明提供的技术方案如下：

一种化学气相沉积炉，包括炉体和设于所述炉体底部的进气装置，所述进气装置包括有主进气管路、分气器和加热器，所述主进气管路连通所述分气器，所述分气器连通所述炉体内部的炉腔，所述分气器用于向炉腔内均匀分布气流，所述加热器设于所述分气器上，所述加热器用于加热气体。

进一步的，所述分气器上至少设有两个分气孔，所述分气孔连通所述主进气管路和炉腔。

进一步的，所述分气器上的分气孔呈蜂窝状分布。

进一步的，所述分气器由石墨制成，所述加热器为感应线圈，所述感应线圈设置在所述分气器外侧，所述感应线圈用于对分气器进行感应加热。

进一步的，所述分气器上设有温度传感器。

进一步的，所述分气器上连接有旋转装置，所述旋转装置用于带动分气器旋转。

进一步的，所述炉体内部设有保温层，所述保温层围成所述炉腔。

进一步的，所述保温层内侧设有加热体，所述加热体用于对所述炉腔加热。

进一步的，所述炉腔底部设有料板，所述分气器向所述料板均匀分散气体。

进一步的，所述炉体顶部设有排气口。