[发明专利]一种具有探针压合的宏观检测设备

权利要求书

1.一种具有探针压合的宏观检测设备，包含工作台(11)，工作台上设置用于固定待测模组的吸附支撑件(12)，其特征在于：还包括安装于工作台上位于待测模组四周用于与待测模组进行压合的探针总组(1)，所述探针总组(1)包括：

探针装置(5)、用于调整探针装置Z轴方向位移的两个Z轴模组(4)、用于调整探针装置X轴方向位移的两个X轴模组(2)、用于调整探针装置Y轴方向位移及旋转角度的两个Y轴模组(3)、第一安装板(6)和第二安装板(7)，所述第一安装板(6)两端分别与两个Z轴模组(4)连接，两个X轴模组(2)并排安装于第一安装板(6)上，两个Y轴模组(3)分别安装于第一安装板(6)两端；所述第二安装板(7)分别通过轴承安装于X轴模组(2)和Y轴模组(3)的导轨上，所述探针装置(5)安装于第二安装板(7)的侧边。

2.根据权利要求1所述的具有探针压合的宏观检测设备，其特征在于：所述两个X轴模组(2)分别为用于主动调整探针装置X轴方向位移的第一模组(8)和用于从动调整探针装置X轴方向位移的第二模组(9)，第一模组(8)与第二模组(9)的调节位移方向相同。

3.根据权利要求2所述的具有探针压合的宏观检测设备，其特征在于：所述第一模组(8)包括第一电机(8.1)、第一滚珠丝杆(8.2)、第一导轨(8.3)、第二导轨(8.4)和第一轴承(8.5)，第一电机(8.1)、第一滚珠丝杆(8.2)和第一导轨(8.3)均固定于第一安装板(6)上，所述第一电机(8.1)通过联轴器与第一滚珠丝杆(8.2)连接，所述第一滚珠丝杆(8.2)的螺母安装于第一固定块(8.6)内部，所述第一固定块(8.6)固定于第一导轨(8.3)的滑块上，所述第二导轨(8.4)固定于第一固定块(8.6)顶部，第一导轨呈X轴方向布置，第二导轨(8.4)与第一导轨垂直，所述第一轴承(8.5)的内圈通过第一轴承固定板(8.7)固定于第二导轨(8.4)的滑块上，第一轴承(8.5)的外圈底部设有第一轴承安装板(8.8)，所述第一轴承安装板(8.8)与第二安装板(7)固定连接。

4.根据权利要求2所述的具有探针压合的宏观检测设备，其特征在于：所述第二模组(9)包括第三导轨(9.1)、第四导轨(9.2)和第二轴承(9.3)，第三导轨(9.1)固定于第一安装板(6)上，第四导轨(9.2)通过第二固定块(9.4)固定于第三导轨(9.1)的滑块上，第三导轨(9.1)呈X轴方向布置，第四导轨(9.2)与第三导轨(9.1)垂直，所述第二轴承(9.3)的内圈通过第二轴承固定板(9.5)固定于第四导轨(9.2)的滑块上，第二轴承(9.3)的外圈底部设有第二轴承安装板(9.6)，所述第二轴承安装板(9.6)与第二安装板(9.7)固定连接。

5.根据权利要求1所述的具有探针压合的宏观检测设备，其特征在于：所述Y轴模组(3)包括第二电机(3.1)、第二滚珠丝杆(3.2)、第五导轨(3.3)、第六导轨(3.4)和第三轴承(3.5)，所述第二电机(3.1)、第二滚珠丝杆(3.2)和第五导轨(3.3)均固定于第一安装板(6)上，所述第二电机(3.1)通过同步带与第二滚珠丝杆(3.2)连接，所述第二滚珠丝杆(3.2)的螺母安装于第二固定块(3.6)内部，所述第二固定块(3.6)固定于第五导轨(3.3)的滑块上，所述第六导轨(3.4)固定于第二固定块(3.6)顶部，第五导轨(3.3)呈Y轴方向布置，第六导轨(3.4)与第五导轨(3.3)垂直，所述第三轴承(3.5)的内圈通过第三轴承固定板(3.7)固定于第六导轨(3.4)的滑块上，第三轴承(3.5)的外圈底部设有第三轴承安装板(3.8)，所述第三轴承安装板与第二安装板(7)固定连接。

6.根据权利要求1所述的具有探针压合的宏观检测设备，其特征在于：所述Z轴模组(4)包括侧固定板(4.1)、第三电机(4.2)、第三滚珠丝杆(4.3)和第七导轨(4.4)，所述侧固定板(4.1)和第三电机(4.2)均固定于工作台上，所述第三电机(4.2)通过联轴器与第三滚珠丝杆(4.3)连接，所述第七导轨(4.4)竖向固定于侧固定板(4.1)上，所述第三滚珠丝杆(4.3)上下两端分别与侧固定板(4.1)上下两端连接，所述第一安装板(6)端部与第三滚珠丝杆(4.3)的螺母固定连接，第一安装板(6)侧边固定于第七导轨(4.4)的滑块上。