[发明专利]一种功率器件模组及其制备方法有效
申请号: | 201711307492.9 | 申请日: | 2017-12-11 |
公开(公告)号: | CN108231703B | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 田丽纷;王亮;李现兵;石浩;张朋;唐新灵;林仲康;韩荣刚;张喆 | 申请(专利权)人: | 全球能源互联网研究院有限公司;国网山东省电力公司电力科学研究院;国家电网有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/522;H01L21/50 |
代理公司: | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李博洋 |
地址: | 102209 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 功率器件 金属膜 模组 功率芯片 制备 接触电阻 接触热阻 散热性 上表面 下表面 压接 | ||
1.一种功率器件模组,其特征在于,包括:功率芯片(5)、第一金属膜(3)及第二金属膜(8);
所述第一金属膜(3)与第二金属膜(8)分别设置于所述功率芯片(5)的上表面和下表面;
所述的功率器件模组还包括:第一金属片(2)和第二金属片(9);
所述第一金属片(2)设置于所述第一金属膜(3)的上表面,所述第二金属片(9)设置于所述第二金属膜(8)的下表面;
所述功率器件模组还包括:弹性结构(10),所述弹性结构(10)为一体成型结构,所述弹性结构(10)包括:挡板(101)和弹簧(102),所述弹簧(102)设置于所述挡板(101)的下表面,在所述挡板(101)的下表面均匀排列;所述挡板(101)内部为多孔结构;所述第二金属片(9)固定设置于所述弹性结构(10)上。
2.根据权利要求1所述的功率器件模组,其特征在于,所述第一金属膜(3)与第二金属膜(8)均为纳米银膜。
3.根据权利要求1所述的功率器件模组,其特征在于,还包括:第三金属膜(4)和第四金属膜(7);
所述第三金属膜(4)位于所述功率芯片(5)上表面与所述第一金属膜(3)之间,所述第四金属膜(7)位于所述功率芯片(5)下表面与所述第二金属膜(8)之间;
所述第三金属膜(4)与第四金属膜(7)均以真空离子溅射的方式镀于所述功率芯片(5)上。
4.根据权利要求3所述的功率器件模组,其特征在于,所述第三金属膜(4)和第四金属膜(7)均为金属银膜。
5.根据权利要求1所述的功率器件模组,其特征在于,所述第一金属片(2)和第二金属片(9)均为金属钼片。
6.根据权利要求1所述的功率器件模组,其特征在于,所述多孔在所述挡板(101)内部均匀排列。
7.根据权利要求6所述的功率器件模组,其特征在于,所述弹性结构(10)采用3D打印工艺制备。
8.根据权利要求5所述的功率器件模组,其特征在于,还包括:上压盖(1),设置于所述第一金属片(2)的上方;
所述上压盖(1)的下表面设置有多个凸台,所述多个凸台与所述第一金属片(2)一一对应设置。
9.根据权利要求1所述的功率器件模组,其特征在于,还包括:覆铜陶瓷基板(6),所述覆铜陶瓷基板(6)设置于所述弹性结构(10)上;
所述功率芯片(5)的门极通过金属引线与所述覆铜陶瓷基板(6)连接。
10.一种功率器件模组的制备方法,其特征在于,包括:
将第一金属膜(3)与第二金属膜(8)分别设置于功率芯片(5)的上表面和下表面;
将第一金属膜(3)与第二金属膜(8)分别设置于功率芯片(5)的上表面和下表面之前,还包括:
将所述第一金属膜(3)设置于第一金属片(2)的下表面,将所述第二金属膜(8)设置于第二金属片(9)的上表面;
将功率芯片(5)的上表面和下表面分别镀上第三金属膜(4)和第四金属膜(7);
采用3D打印工艺制备弹性结构(10),所述弹性结构(10)包括挡板(101)和弹簧(102),为一体成型结构;
将第一金属膜(3)与第二金属膜(8)分别设置于功率芯片(5)的上表面和下表面之后,还包括:
将所述第二金属片(9)和覆铜陶瓷基板(6)分别设置于所述弹性结构(10)上;
将所述功率芯片(5)的门极通过金属引线与所述覆铜陶瓷基板(6)连接;
将上压盖(1)设置于所述第一金属片(2)上。
11.根据权利要求10所述的功率器件模组的制备方法,其特征在于,所述第三金属膜(4)位于所述功率芯片(5)上表面与所述第一金属膜(3)之间,所述第四金属膜(7)位于所述功率芯片(5)下表面与所述第二金属膜(8)之间。
12.一种功率器件封装结构,其特征在于,包括如权利要求1-9中任一项所述的功率器件模组。
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