[发明专利]高精密支撑掩膜版

权利要求书

1.一种高精密支撑掩膜版，其特征在于，包括：

板框；

多个条形掩膜片，多个所述条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个所述条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个所述条形掩膜片沿横向延伸且其两端焊接于所述板框的顶面，每个所述条形掩膜片上设有至少一个掩膜图案；

支撑膜网，所述支撑膜网位于多个所述条形掩膜片的下方且被固定于所述板框上，所述支撑膜网支撑多个所述条形掩膜片并覆盖各个所述拼接间隙但不遮挡各个所述掩膜图案。

2.根据权利要求1所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，所述板框的顶面相对的两侧分别设有多个凹槽，多个所述凹槽沿所述板框的边沿间隔设置；所述支撑膜网上相对两侧分别形成有多个焊接部，多个所述焊接部沿所述支撑膜网的边沿间隔设置，多个所述焊接部一一对应地焊接于多个所述凹槽内。

3.根据权利要求2所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，所述支撑膜网的上表面与所述板框的顶面平齐。

4.根据权利要求1所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，所述支撑膜网包括多排网孔，多排所述网孔与多个所述条形掩膜片一一对应；

每排所述网孔中的各个网孔与对应的所述条形掩膜片上的各个掩膜图案一一对应，且所述网孔的尺寸大于所述掩膜图案的尺寸，以使所述掩膜图案完全显露在所述网孔中。

5.根据权利要求4所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，相邻两排所述网孔之间形成为条形支撑部，所述条形支撑部与相邻两个所述条形掩膜片的底面贴合，并覆盖相邻两个所述条形掩膜片之间的所述拼接间隙。

6.根据权利要求1所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，所述板框包括：

框体，所述框体的中央形成镂空区；

框沿，所述框沿环绕设置所述镂空区的外围且向上凸出，所述条形掩膜片的两端焊接于所述框沿的顶面。

7.根据权利要求6所述的高精密支撑掩膜版，其特征在于，所述支撑膜网的上表面与所述框沿的顶面平齐。