[发明专利]保护膜贴合装置及贴合方法

权利要求书

1.一种保护膜贴合装置，其特征在于，包括：

载台（10），用于放置待贴膜的基板（1）；

压板（20），与所述载台（10）对向设置且设于所述载台（10）上方，包括在朝向所述载台（10）的表面开设的若干供空气通过的第一槽（21）、连通所有的所述第一槽（21）的第一通道（22）以及第一进气孔（23），所述第一进气孔（23）与所述第一槽（21）在所述压板（20）的不同的表面；

第一真空发生装置，与所述第一进气孔（23）连通，用于产生真空吸力将保护膜（2）吸附在所述压板（20）表面；

上壳（40），包括底面开设的容置槽和所述容置槽底面开设的引导孔（400），所述压板（20）容纳于所述容置槽内，所述压板（20）背向所述载台（10）的表面凸设有凸柱（50），所述凸柱（50）穿设于所述引导孔（400）内且可沿所述引导孔（400）滑动；

第三真空发生装置，所述上壳（40）上还开设有贯穿所述容置槽底面、用于连接所述第三真空发生装置的抽气孔（42），所述容置槽在所述载台（10）上的投影位于所述载台（10）内；所述载台（10）与所述压板（20）可相互靠近而将保护膜（2）贴合在基板（1）表面，所述第三真空发生装置用于在所述载台（10）抵接所述上壳（40）端面后抽气，将保护膜（2）与基板（1）之间的空气抽出。

2.根据权利要求1所述的保护膜贴合装置，其特征在于，还包括第二真空发生装置，所述载台（10）包括在朝向所述压板（20）的表面开设的若干供空气通过的第二槽（11）、连通所有的所述第二槽（11）的第二通道（12）以及第二进气孔（13），所述第二进气孔（13）与所述第二槽（11）在所述载台（10）的不同的表面；所述第二真空发生装置与所述第二进气孔（13）连通，用于产生真空吸力将基板（1）吸附在所述载台（10）表面。

3.根据权利要求1所述的保护膜贴合装置，其特征在于，还包括升降机构（30），所述升降机构（30）设于所述载台（10）底部，用于驱动所述载台（10）上升和下降。

4.根据权利要求3所述的保护膜贴合装置，其特征在于，所述升降机构（30）包括驱动源、垂直于所述载台（10）的滑轨（30a）和滑动架（30b），所述滑动架（30b）固定在所述载台（10）底面，用于在所述驱动源的驱动下沿所述滑轨（30a）往复移动。

5.根据权利要求4所述的保护膜贴合装置，其特征在于，所述滑轨（30a）为两条，所述滑动架（30b）的两端分别在两条所述滑轨（30a）上滑动。

6.根据权利要求1-5任一所述的保护膜贴合装置，其特征在于，所述上壳（40）还包括设于所述容置槽底面的一圈环绕所述引导孔（400）的凸缘（41）。

7.一种保护膜贴合方法，其特征在于，使用权利要求1-6任一所述的保护膜贴合装置，包括：

第一真空发生装置抽真空，通过载台（10）吸取基板（1）；

第二真空发生装置抽真空，通过压板（20）吸取保护膜（2）；

将载台（10）与压板（20）正对，使基板（1）与保护膜（2）实现对位；

使载台（10）与压板（20）相互靠近，将保护膜（2）贴合在基板（1）表面；

在载台（10）抵接上壳（40）端面后，对载台（10）、上壳（40）围成的密闭空间抽气。