[发明专利]一种剥离装置

说明书

本发明提供一种剥离装置，用于从待剥离面板的基板表面剥离柔性面板，包括：上盖板、下盖板、真空部件；上盖板的连接侧与下盖板的连接侧活动连接；上盖板与下盖板闭合时，上盖板的吸附面与下盖板的吸附面相对设置；上盖板的吸附面包括至少两个第一吸附单元，第一吸附单元与真空部件相连通，用于通过真空部件吸附柔性面板的面板角；第一吸附单元设置于远离连接侧的区域；下盖板的吸附面包括第二吸附单元，第二吸附单元与真空部件相连通，用于通过真空部件吸附基板。避免了中间效应对剥离的影响，更容易在面板角处将柔性面板与基板初始剥离，因此，能够降低剥离对柔性面板的损伤。

技术领域

本发明涉及柔性器件制造领域，尤其涉及一种剥离装置。

背景技术

柔性面板是显示领域中的研究热点，但是其特有的柔性特征为生成制程带来了一定的困难。

一般，柔性面板的生产制程包括：在刚性基板上制作柔性基板；在柔性基板上进行器件工艺制程(如薄膜晶体管阵列工艺)等，从而获得柔性面板；将柔性面板从刚性基板剥离。剥离制程中，一般先采用激光剥离技术(LLO)降低柔性面板与刚性基板之间的附着力，之后将柔性面板剥离下来。

然而，在剥离过程容易造成柔性面板的损伤，如何降低剥离对柔性面板的损伤是一个亟需解决的问题。

发明内容

本发明提供一种剥离装置，用以降低剥离对柔性面板的损伤。

本发明实施例提供一种剥离装置，用于从待剥离面板的基板表面剥离柔性面板，包括：上盖板、下盖板、真空部件；

所述上盖板的连接侧与所述下盖板的连接侧活动连接；所述上盖板与所述下盖板闭合时，所述上盖板的吸附面与所述下盖板的吸附面相对设置；

所述上盖板的吸附面包括至少两个第一吸附单元，所述第一吸附单元与所述真空部件相连通，用于通过所述真空部件吸附所述柔性面板的面板角；所述第一吸附单元设置于远离所述连接侧的区域；

所述下盖板的吸附面包括第二吸附单元，所述第二吸附单元与所述真空部件相连通，用于通过所述真空部件吸附所述基板。

可选的，所述上盖板的吸附面还包括吸附阵列；所述吸附阵列位于与所述柔性面板的中部相对应的位置且所述吸附阵列的吸附面积不大于所述柔性面板。

可选的，所述第一吸附单元为吸盘；所述吸盘的吸附孔用于吸附所述柔性面板的面板角，所述吸附孔周围的盘部覆盖且超出所述面板角。

可选的，所述第一吸附单元为长方形或椭圆形的吸盘。

可选的，所述上盖板的外表面还包括第一把手，所述第一把手与所述第一吸附单元联动。

可选的，所述上盖板的外表面还包括第二把手，所述第二把手远离所述连接侧。

可选的，所述第一把手的提拉部位于所述第二把手提拉部的正下方。

可选的，所述下盖板的吸附面还包括风刀；所述风刀设置于所述吸附面远离所述连接侧的边缘，所述风刀的出气口面向所述连接侧。

可选的，所述下盖板的吸附面还包括一陷入所述下盖板的凹槽结构，所述第二吸附单元设置于所述凹槽结构之中；所述凹槽结构的深度不大于所述待剥离面板的厚度。

可选的，所述凹槽结构的形状是根据所述待剥离面板的形状设计的。