[发明专利]一种基于纳米级平行测量方法及其测量装置

说明书

本发明公开了一种测量装置，其技术方案要点是包括第一油浮轴承座和与第一油浮轴承座相对的第二油浮轴承座，第一油浮轴承座和第二油浮轴承座均包括轴芯，所述轴芯一端上设有锥度头，所述第一油浮轴承座和第二油浮轴承座之间设有两台摄像机，该两台摄像机垂直于锥度头顶部90度方向放置，本发明以第三方的测量设备简单且高精度的测量设备平行；测量设备的移动和搬迁方便；满足工业高精度和特殊用法的被装配产品批量化，满足比如数控车床，扎辊磨床、导轨磨床、无芯磨床等设备的装配调试、产品装配平行等。

技术领域

本发明涉及一种机械装配组装及分度测量技术领域,更具体地说，它涉及一种基于纳米级平行测量方法。

背景技术

机械测量装配技术在机械装备制造方面、矿山机械装备制造、航空机械装备制造、航天机械装备制造、医疗机械装备制造、军工机械装备制造各行各业应用，多数设备上用三座标或干涉仪，用自动平衡作测量支撑等应用；

多数用干涉仪，特别是流水线装配机床装置超大设备，很难保证产品精度，测量设备地面与被装备装置的位置或环境，很难在测量上有超高精度的表现；

这类产品都有一个共同的特点就是第三方的测量设备很难与被测量设备平行。测量设备的移动和搬迁困难。不能满足工业高精度和特殊用法的被装配产品批量化。不能满足比如数控车床，扎辊磨床、导轨磨床、无芯磨床等设备的装配调试、产品装配平行等等。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种能够满足上述不足的基于纳米级平行测量方法。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种基于纳米级平行测量方法，包括将第一油浮轴承座和第二油浮轴承座均放置在所需要测量设备上，使第一油浮轴承座和第二油浮轴承座在一条直线上且平行；

然后在第一油浮轴承座和第二油浮轴承座上的轴芯一端均安装锥度头；

首先对第一油浮轴承座测量同心度精度测量：

①、安置0.1微米带测量刻度放大镜500倍以上分辨率的摄像机两台；该两台0.1微米带测量刻度放大镜500倍以上分辨率的摄像机垂直于锥度头顶部90度方向放置，用于测是测量XY方向；

②、然后通过慢速转动油浮轴上的锥度头几周，测定锥度头尖顶部其回转摆动椭圆；

③、根据0.1微米带测量刻度放大镜500倍以上分辨率的摄像机的数据来调整锥度头的跳动，来继续修正同心精度，最终得到轴芯和此轴芯上装载锥度头顶部的同心度精度；

再然后通过上述测量第一油浮轴承座同心度精度的测量方法对第二油浮轴承座的进行同心度精确测量；

最终：以第一油浮轴承座和第二油浮轴承座上锥度头的同心XY方向精度，来调试需要测量的设备上部件的平行精度。

本发明进一步设置为：在锥度头顶部上可以镶嵌一个钻石，并且将钻石打麿为纳米锥针尺寸。

本发明进一步设置为：测量第一油浮轴承座和第二油浮轴承上的锥度头顶点跳动误差在0-0.1微米。

一种测量装置，包括第一油浮轴承座和与第一油浮轴承座相对的第二油浮轴承座，第一油浮轴承座和第二油浮轴承座均包括轴芯，所述轴芯一端上设有锥度头，所述第一油浮轴承座和第二油浮轴承座之间设有两台摄像机，该两台摄像机垂直于锥度头顶部90度方向放置。

本发明进一步设置为：所述两台摄像机均为0.1微米带测量刻度放大镜500倍以上分辨率的摄像机。

本发明进一步设置为：所述锥度头上还设有钻石，该钻石为纳米锥针状。