[发明专利]一种用于PECVD设备的进气混合装置

权利要求书

1.一种用于PECVD设备的进气混合装置，包括第一进气引管、第二进气引管和出气口，其特征在于，还包括一分别与所述第一进气引管、所述第二进气引管和出气口连通的混气盒，所述混气盒内设有迷宫式的混气通道。

2.如权利要求1所述的用于PECVD设备的进气混合装置，其特征在于，所述混气盒包括一座体，其相对的侧边设有多个向内伸出、相互错开且与对面侧边隔开的挡板，和一与所述座体密封连接形成混气通道的盖板；所述第一进气引管和第二进气引管设置在所述混气盒的一端，所述出气口设置在所述混气盒的另一端。

3.如权利要求1所述的用于PECVD设备的进气混合装置，其特征在于，所述混气盒包括第一混气盒和第二混气盒，第一混气盒和第二混气盒的座体相互层叠固定在一起，所述第一混气盒的混气通道出口与所述第二混气盒的混气通道进口连通，第一进气引管、第二进气引管与出气口设置在同一端。

4.如权利要求1所述的用于PECVD设备的进气混合装置，其特征在于，所述出气口为并排设置的多个出气孔。

5.如权利要求3所述的用于PECVD设备的进气混合装置，其特征在于，所述第一混气盒上设有可安装螺钉与PECVD反应室内壁固定的通孔。