[发明专利]用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置

权利要求书

1.用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置，其特征在于：包括二维滑动工作台（2）、支架（3）和底座（1）；

所述二维滑动工作台（2）包括电机（201）、纵向滑板（202）、横向滑板（203）和固定板（204），纵向滑板（202）在横向滑板（203）上实现沿X方向的移动；所述电机（201）设于纵向滑板（202）的上端，测量浮板（5）设于纵向滑板（202）的下端，在电机（201）的作用下实现测量浮板（5）沿Z方向的上下移动；所述测量浮板（5）的工作面（7）上设有微位移传感器（6）、压力传感器（11）、温度传感器（12）、薄片振动传感器（4）和薄片（13）；

所述支架（3）包括直立的两根支杆和一根X方向的横向支杆，且横向支杆连接着两根支杆的上端；所述二维滑动工作台（2）设于支架（3）的横向支杆上；

所述底座（1）包括底板和两块以上的支撑块（101），两块以上的支撑块（101）均匀布置设于底板的中部；支架（3）的两根支杆的下端分别滑动设于底板的两侧，实现支架（3）在底板上沿Y方向的移动；所述测量浮板（5）平行于底板；

测量时，被测的测量气浮系统位于两块以上的支撑块（101）上，且被测的测量气浮系统的上浮板（20）的顶面对应着测量浮板（5）的工作面。

2.根据权利要求1所述的用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置，其特征在于：所述二维滑动工作台（2）为十字滑台，行程为500mm×600mm，精度为0.02-0.04mm。

3.根据权利要求1所述的用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置，其特征在于：所述二维滑动工作台（2）通过固定板（204）设于支架（3）的横向支杆上，且使横向滑板（203）平行于横向支杆，使纵向滑板（202）在横向滑板（203）上实现沿X方向的移动。

4.根据权利要求1所述的用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置，其特征在于：所述测量浮板（5）的工作面（7）上开设有薄片槽，所述薄片（13）嵌设在薄片槽内，薄片（13）和工作面在同一平面内，且薄片（13）对应着薄片振动传感器（4）。

5.根据权利要求1所述的用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置，其特征在于：所述支架（3）的两根支杆的下端分别设有滑块（9），所述底座（1）的底板上两侧分别设有滑动轨道（8）；两块滑块（9）的下部分别配合位于对应的两条滑动轨道（8）内，使支架（3）沿滑动轨道（8）实现Y方向的移动。

6.根据权利要求1所述的用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置，其特征在于：所述底座（1）包括四块支撑块（101），所述支撑块（101）为柱状，四块支撑块（101）均匀布置在底板的中部，四块支撑块（101）的顶部在同一平面内。