[发明专利]晶圆片去胶机

权利要求书

1.一种晶圆片去胶机，包括本体，所述本体侧面设有工件花篮进料口和出料口，所述本体正面设有透视窗，所述主体内设有清洗槽和机械手装置，所述机械手装置自动将工件花篮放入清洗槽内清洗，然后传送到下个清洗槽进行清洗，所述清洗槽包括依次设置的第一水槽、超声药剂槽、第一超声漂洗槽、第一酸槽、第二超声漂洗槽、第二酸槽、快排漂洗槽和第二水槽。

2.根据权利要求1所述的晶圆片去胶机，其特征在于：所述主体内还设有抛动装置，所述第一酸槽和第二酸槽分别连接抛动装置，所述抛动装置使得工件花篮在所述第一酸槽和第二酸槽内进行升降运动。

3.根据权利要求2所述的晶圆片去胶机，其特征在于：所述抛动装置包括动力组件、支撑架和抛动架，所述抛动架设在两支撑架之间，所述支撑架上设有可供抛动架垂直升降的滑道，所述动力组件驱动抛动架沿滑道垂直升降。

4.根据权利要求3所述的晶圆片去胶机，其特征在于：所述抛动架前端设有放置工件花篮的固定架，所述固定架上有卡住工件花篮的吊钩。

5.根据权利要求1所述的晶圆片去胶机，其特征在于：所述机械手装置包括横杆、平移驱动装置和吊臂，所述平移驱动装置驱动吊臂在所述横杆上左右移动。

6.根据权利要求5所述的晶圆片去胶机，其特征在于：所述吊臂包括滑杆和竖杆，所述滑杆与横杆可滑动连接，所述竖杆上设有升降装置和驱动升降装置垂直升降的第二动力组件，所述升降装置的端部设有吊钩。

7.根据权利要求1所述的晶圆片去胶机，其特征在于：所述快排漂洗槽连接在线加热器，所述在线加热器内设有至少两组加热管。

8.根据权利要求1所述的晶圆片去胶机，其特征在于：所述第一酸槽和第二酸槽分别连接有冷排管，所述第一酸槽和第二酸槽上部设有排风管道，所述排风管道连接所述主体上的排风口。

9.根据权利要求8所述的晶圆片去胶机，其特征在于：所述第一酸槽和第二酸槽内设有加热管，所述加热管通过螺栓固定在所述第一酸槽和第二酸槽的内壁上。

10.根据权利要求9所述的晶圆片去胶机，其特征在于：所述第一酸槽内设有烟雾检测器和灭火装置，当烟雾检测器检测到火花时及时启动灭火装置。