[发明专利]一种线性液动压抛光装置

权利要求书

1. 一种线性液动压抛光装置，其特征在于：包括往复运动部分和高速旋转部分，所述往复运动部分包括抛光液容器箱（2）、滑动导轨、第一电机（6）、第一电机座（8）、第一联轴器（7）、第一密封套（5）、滚珠丝杠（3）、丝杠螺母（21）、滑块、工作台（19）、工件载盘（18）和夹持器（17），所述工件载盘（18）通过夹持器（17）安装在所述工作台（19）上；所述滑块固定在所述工作台（19）的底部，所述丝杠螺母（21）固定在工作台（19）上，丝杠螺母（21）套装在所述滚珠丝杠（3）上，滑块套装在所述滑动导轨上，所述滑动导轨和滚珠丝杠（3）平行设置，滑动导轨固定在抛光液容器箱（2）内的底部，所述滚珠丝杠（3）穿过抛光液容器箱（2）的一侧且通过第一联轴器（7）连接第一电机（6），滚珠丝杠（3）和抛光液容器箱（2）之间通过第一密封套（5）密封连接，所述第一电机（6）通过第一电机座（8）固定在抛光液容器箱（2）的外侧壁上； 所述第一电机（6）工作时通过第一联轴器（7）带动滚珠丝杠（3）转动，滚珠丝杠（3）转动时带动由丝杠螺母（21）、工作台（19）、滑块、工件载盘（18）和夹持器（17）组成的整体沿着滑动导轨进行往复进给运动；所述高速旋转部分包括第二电机（11）、第二电机座（10）、第二联轴器（12）、第二密封套（13）和圆柱辊子（14），所述圆柱辊子（14）垂直于所述滚珠丝杠（3）设置且设置在所述抛光液容器箱（2）内部，圆柱辊子（14）的一端穿过抛光液容器箱（2）的另一侧壁且通过第二联轴器（12）连接第二电机（11），所述圆柱辊子（14）和抛光液容器箱（2）之间通过第二密封套（13）连接，所述第二电机（11）通过第二电机座（10）固定在抛光液容器箱（2）的侧壁上；所述第二电机（11）工作时通过第二联轴器（12）带动所述圆柱辊子（14）做高速旋转运动；

所述圆柱辊子（14）浸没在所述抛光液容器箱（2）内盛有的抛光液内；

所述圆柱辊子（14）与安装在工件载盘（18）上方的抛光工件（16）之间的间距小于1mm；

所述圆柱辊子（14）的外表面沿其径向均布多条沟槽，沟槽使圆柱辊子高速旋转时对周围的抛光液产生推动作用，使抛光液快速运动；

所述抛光液容器箱（2）内盛有的抛光液是由磨料和水或轻质油均匀混合而成的抛光流体介质。

2.根据权利要求1所述的一种线性液动压抛光装置，其特征在于：所述滑动导轨包括第一滑动导轨（1）和第二滑动导轨（9），第一滑动导轨（1）和第二滑动导轨（9）并列设置且分布在抛光液容器箱（2）内部底面的两侧，工作台（19）下方固定的滑块也设置有与第一滑动导轨（1）相配合的第一滑块（20）和与第二滑动导轨（9）相配合的第二滑块（22）。

3.根据权利要求1所述的一种线性液动压抛光装置，其特征在于：所述滚珠丝杠（3）的一端通过固定在抛光液容器箱（2）底部的第二支撑座（15）支撑，滚珠丝杠（3）的另一端通过靠近该端且固定在抛光液容器箱（2）底部的第一支撑座（4）支撑。

4.根据权利要求1所述的一种线性液动压抛光装置，其特征在于：所述滚珠丝杠（3）和第一密封套（5）之间通过轴承连接，所述圆柱辊子（14）与第二密封套（13）之间通过轴承连接。

5.根据权利要求1所述的一种线性液动压抛光装置，其特征在于：所述圆柱辊子（14）设置在所述工件载盘（18）的上方。

6.根据权利要求1所述的一种线性液动压抛光装置，其特征在于：所述圆柱辊子（14）与安装在工件载盘（18）上方的抛光工件（16）之间的间距控制在20~100μm之间。

7.根据权利要求1所述的一种线性液动压抛光装置，其特征在于：所述磨料为二氧化硅、碳化硅、金刚石或氧化铝。