[发明专利]一种高精度高定位稳定性形状测量仪导轨装置

说明书

一种高精度高定位稳定性形状测量仪导轨装置属于精密仪器及机械技术领域；该装置在第一支承板上配置有支承器件A1和支承器件A2，在第二支承板上配置有支承器件B1，在第五支承板上共面配置有导向定位器件E1、导向定位器件E2和导向定位器件E3；在第三支承板上配置有导向定位器件C1，第六支承板上配置有支承器件F1，导向定位器件C1与支承器件F1关于导轨部件上下对称配置；第四支承板上配置有导向定位器件D1，第七支承板上配置有支承器件G1，导向定位器件D1与支承器件G1关于导轨部件上下对称配置；在各支承器件上还配置有弹性压紧机构；本发明建立了一种高运动精度和高定位稳定性兼顾的直线运动导轨装置。

技术领域

本发明属于精密仪器及机械技术领域，特别涉及一种高精度高定位稳定性形状测量仪导轨装置。

背景技术

直线导轨是超精密测量仪器与制造装备中的核心单元部件,其精度水平直接关系到仪器装备的最终使用性能。如高精度光学检测仪器、精密/超精密光机电一体化装备、以及精密/超精密机床等先进装备制造领域中，都对其中所使用的直线导轨提出了越来越高的要求，例如圆柱度测量仪是圆柱回转体类零部件的专用测量仪器，其所使用的直线导轨不但要有高的导向精度，同时还要具有高的支承刚度、较强的抗扰动能力和良好的工作稳定性。

专利“一种滚滑复合直线导轨副结构”(公开号CN106812795A)提出了一种滚滑复合直线导轨副结构，在滚柱导轨块与导轨条之间通过滚柱支撑；在滚柱导轨块中部底面粘接一层树脂滑动副，使得树脂滑动副与导轨条顶面之间滑动接触，组成滚动副与滑动副的复合结构；使该复合导轨兼有滚动副和滑动副的优点。

专利“一种直线导轨”(公开号CN106812795A)提出的导轨具有多个滑动槽，滑块上具有与导轨相配合的配合槽，配合槽上设置有与滑动槽相对应的滚动槽，滑块上设置有与滚动槽相对应的回流孔道等特征。

日本东京工业大学(Shinno H,Hashizume H,Yoshioka H,et al.XY-θnano-positioning table system for a mother machine[J].CIRP Annals-ManufacturingTechnology,2004,53(1):337～340.)提出基于静压气浮支承形式的H型双导轨结构，采用直线电机作为驱动方式直接驱动气浮工作台，并通过激光干涉仪作为位置反馈系统，实现在导轨全行程300mm范围内高的定位精度。

专利“竖直方向使用的直驱精密气体静压导轨副”(公开号:CN201710014225.6)提出了一种竖直方向使用的直驱精密气体静压导轨副，采用其中的四个面作为气体静压支承面，另外两个对称的侧壁面分别安装直线电机，实现导轨副支承和驱动的对称布局采用多孔质节流器保证导轨副的支承刚性。

综合分析现有的直线运动导轨技术，很难同时保证导轨的高精度和高稳定性。因此本发明提出一种高精度高定位稳定性导轨装置，能够同时兼顾高运动精度和高定位稳定性，在精密装备制造业等领域的应用具有重要意义。

发明内容

本发明的目的就是针对目前现有技术存在的问题，提出一种高精度高定位稳定性形状测量仪导轨装置。通过在导轨的支承板上配置导向定位器件，并设计导向定位器件的布点方式和弹性压紧机构，达到高精度高定位稳定性的要求。

上述目的通过以下的技术方案实现：

一种高精度高定位稳定性形状测量仪导轨装置，该装置包括导轨部件、导轨架部件、驱动部件，驱动部件带动导轨部件在导轨架部件内运动，所述的导轨架部件由第一支承板、第二支承板、第三支承板、第四支承板、第五支承板、第六支承板和第七支承板构成，在各支承板上配置有作用于导轨部件的导向定位结构；