[发明专利]一种传动机构的固定组件在审
| 申请号: | 201711269854.X | 申请日: | 2017-12-05 |
| 公开(公告)号: | CN107845597A | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
| 发明(设计)人: | 张虎威;管长乐 | 申请(专利权)人: | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司11252 | 代理人: | 周放,姜溯洲 |
| 地址: | 102299 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 传动 机构 固定 组件 | ||
1.一种传动机构的固定组件,包括磁流体和固定件,其特征在于,所述固定件具有安装板,所述安装板上设置有多个支撑面,所述支撑面与所述磁流体的第一段的外表面相配合,所述第一段通过紧固件被固定在所述安装板上。
2.根据权利要求1所述的传动机构的固定组件,其特征在于,所述固定件为长方体框架,由第一侧板、第二侧板和封板围成,所述第一侧板上设置有多个第一开口;所述第一侧板为所述安装板,所述第一开口的开口壁面为所述支撑面。
3.根据权利要求2所述的传动机构的固定组件,其特征在于,所述第二侧板上设置有多个第二开口,各所述第二开口与各所述第一开口一一对应,且所述第一开口用于与所述第一段的第一端的外表面相配合,所述第一端通过所述紧固件被固定在所述第一侧板上,所述第二开口用于与所述第一段的第二端的外表面相配合,所述第二端通过所述紧固件被固定在所述第二侧板上。
4.根据权利要求2所述的传动机构的固定组件,其特征在于,所述固定件还包括底板,所述底板与所述第一侧板和所述第二侧板连接,并使所述固定件构成槽型结构,所述底板位于远离所述第一开口的一侧。
5.根据权利要求4所述的传动机构的固定组件,其特征在于,所述固定件还包括加强隔板,所述加强隔板设置在所述底板的内侧,且所述加强隔板的一侧与所述第一侧板相连,所述加强隔板的另一侧与所述第二侧板相连。
6.根据权利要求3所述的传动机构的固定组件,其特征在于,所述紧固件包括紧固螺钉和分别用于与所述第一端和第二端的外表面相配合的弧形卡箍,所述第一开口的两侧和所述第二开口的两侧均设置有用于与所述紧固螺钉相配合的螺纹孔。
7.根据权利要求3所述的传动机构的固定组件,其特征在于,所述第一开口和所述第二开口均为弧形开口。
8.根据权利要求1所述的传动机构的固定组件,其特征在于,所述固定件为L型固定板,所述L型固定板由底板和竖板围成,所述竖板上设置多个供所述磁流体穿过的安装孔;所述竖板为所述安装板,所述安装孔的孔壁面为所述支撑面。
9.根据权利要求8所述的传动机构的固定组件,其特征在于,所述紧固件为安装螺钉,所述安装孔的周边设置有与所述安装螺钉相配合的螺钉孔。
10.根据权利要求4或8所述的传动机构的固定组件,其特征在于,所述的传动机构的固定组件还包括驱动装置和移动组件,所述固定件与所述移动组件连接,所述驱动装置驱动所述固定件和所述磁流体沿所述磁流体的轴向移动。
11.根据权利要求10所述的传动机构的固定组件,其特征在于,所述移动组件包括导轨、滑块和导轨安装架,所述导轨沿所述磁流体的轴向布置,且设置于所述导轨安装架上;所述底板的外侧通过所述滑块与所述导轨连接,所述导轨安装架用于与腔室壁相连。
12.根据权利要求11所述的传动机构的固定组件,其特征在于,所述底板上未与所述导轨相连接的区域设置为中空结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





