[发明专利]一种双摆臂校正工作台的装置

权利要求书

1.一种双摆臂校正工作台的装置，其特征在于，包括取芯部分、校正部分、精摆部分、控制部分；取芯部分、校正部分、精摆部分分别与控制部分连接。

2.根据权利要求1所述的一种双摆臂校正工作台的装置，其特征在于，所述的控制部分为控制系统。

3.根据权利要求1所述的一种双摆臂校正工作台的装置，其特征在于，所述的取芯部分，包括第一定位摄像头、第一摆臂、第一X-Y工作台；第一定位摄像头设置在第一X-Y工作台的正上方；第一摆臂与第一X-Y工作台相连接；第一定位摄像头、第一摆臂、第一X-Y工作台分别与控制部分的控制系统连接。

4.根据权利要求1所述的一种双摆臂校正工作台的装置，其特征在于，所述的校正部分，包括校正摄像头、X-Y-θ校正工作台；校正摄像头设置在X-Y-θ校正工作台的正上方；校正摄像头、X-Y-θ校正工作台分别与控制部分的控制系统连接；X-Y-θ校正工作台还与取芯部分的第一摆臂相连接。

5.根据权利要求4所述的一种双摆臂校正工作台的装置，其特征在于，所述的X-Y-θ校正工作台上设置有θ电机，校正摄像头设置在θ电机的正上方。

6.根据权利要求1所述的一种双摆臂校正工作台的装置，其特征在于，所述的精摆部分，包括第二定位摄像头、第二摆臂、第二X-Y工作台；第二定位摄像头设置在第二X-Y工作台的正上方；第二摆臂与第二X-Y工作台相连接；第二定位摄像头、第二摆臂、第二X-Y工作台分别与控制部分的控制系统连接；第二摆臂还与校正部分的X-Y-θ校正工作台相连接。

7.根据权利要求1所述的一种双摆臂校正工作台的装置，其特征在于，所述的X-Y-θ校正工作台、第二摆臂、第二X-Y工作台，根据目标精度要求，分别选择不同精度的X-Y-θ校正工作台、第二摆臂、第二X-Y工作台。

8.根据权利要求1所述的一种双摆臂校正工作台的装置，其特征在于，所述的取芯部分、校正部分、精摆部分分别与控制部分连接，通过控制系统运算、控制，实现芯片的修正、旋转等校正动作，并在控制系统的显示器将信息进行显示。