[发明专利]一种单晶硅制绒添加剂及其应用有效
申请号: | 201711253119.X | 申请日: | 2017-12-02 |
公开(公告)号: | CN107858756B | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 张小飞 | 申请(专利权)人: | 常州高特新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
代理公司: | 32258 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 王美华;任晓岚 |
地址: | 213100 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制绒 单晶硅 制绒液 碱液 制绒添加剂 硅片表面 硅片制绒 离子液体 使用寿命 规整性 硅片 制备 添加剂 腐蚀 应用 | ||
本发明属于硅片制绒技术,特别涉及一种单晶硅制绒添加剂及其应用。将特定的离子液体作为添加剂加入到碱液中制备制绒液,并采用该制绒液对单晶硅进行制绒,可在碱液低浓度的情况下促进腐蚀的进行,提高制绒效率;避免了硅片表面的规整性受到破坏,延长了制绒后硅片的使用寿命。
技术领域
本发明属于硅片制绒技术,特别涉及一种单晶硅制绒添加剂及其应用。
背景技术
制绒是太阳能电池生产工艺流程中的重要工序,在单晶硅表面形成类似金字塔的结构,可降低硅片表面对太阳光的反射率,增加光的吸收,从而提高太阳能转化为电能的效率。
在现有的单晶硅制绒工艺中,如果直接采用强碱(如氢氧化物)对硅片表面进行腐蚀的话,腐蚀反应剧烈不易控制,会破坏硅片表面的规整性甚至是硅片的基础结构,因此这一类强碱制绒剂通常需要与缓腐蚀剂(如异丙醇、硅酸钠)配合使用,但是异丙醇等缓蚀剂挥发性强,导致制绒剂使用寿命短;且不环保,有悖于目前提倡的绿色工业生产。
而如果在制绒过程中直接采用弱碱或进一步降低强碱制绒液的浓度,会使腐蚀速率减慢,大大降低了生产速率。
因此开发一种稳定性高、制绒效率快且环保的制绒添加剂或制绒剂具有重大意义。
发明内容
本发明相当于是针对现有技术中“直接采用弱碱或降低强碱制绒液的浓度,会使腐蚀速率减慢,降低生产速率”这一问题,提供一种单晶硅制绒添加剂,即一种离子液体,
该离子液体为卤代咪唑类离子液体,如溴化1-乙基-3-甲基咪唑、溴化1-丙基-3-甲基咪唑、溴化1-丁基-3-甲基咪唑或氯化1-乙基-3-甲基咪唑等;
本发明还提供了一种上述单晶硅制绒添加剂的应用,即将该添加剂加入到碱液中制备制绒液,并采用该制绒液对单晶硅进行制绒,
其中,添加剂在制绒液中的质量浓度控制为1.5~3%,而碱液中的碱为氢氧化物,如氢氧化钠、氢氧化钾等,氢氧化物在制绒液中的质量浓度控制为0.4~2%,
同时,制绒液中还可以加入苯甲酸钠、表面活性剂、抗坏血酸、分散剂、增溶剂、稳定剂等功能性助剂。
本发明的有益效果在于:采用特定的离子液体来辅助碱液对硅片表面进行制绒,在碱液低浓度的情况下促进了腐蚀的进行,提高了制绒效率;并且由于碱浓度较低,确保了腐蚀反应的平稳程度,避免了硅片表面的规整性受到破坏,延长了制绒后硅片的使用寿命。
具体实施方式
实施例1
将氢氧化钠溶解于纯水中得到氢氧化钠溶液(即碱液),再向其中加入氯化1-乙基-3-甲基咪唑并充分混合后得到制绒液,控制氢氧化钠在该制绒液中的质量浓度为0.7%,氯化1-乙基-3-甲基咪唑在该制绒液中的质量浓度为1.9%。
实施例2
将氢氧化钾溶解于纯水中得到氢氧化钾溶液(即碱液),再向其中加入溴化1-丁基-3-甲基咪唑并充分混合后得到制绒液,控制氢氧化钾在该制绒液中的质量浓度为1.0%,溴化1-丁基-3-甲基咪唑在该制绒液中的质量浓度为2.3%。
对比实施例1
制绒液中未加入离子液体,其余操作均同实施例1:
将氢氧化钠溶解于纯水中得到氢氧化钠溶液,即制绒液,控制氢氧化钠在该制绒液中的质量浓度为0.7%。
对比实施例2
采用等摩尔的1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐代替实施例1中的“氯化1-乙基-3-甲基咪唑”,其余操作均同实施例1。
对比实施例3
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