[发明专利]X射线成像中的统计分析

权利要求书

1.一种使用X射线来分析样本的方法，该方法包括以下步骤：

- 用输入X射线照射样本；

- 使用检测器来检测响应于所述照射从该样本放射出的输出X射线的通量，

其特征在于，该方法包括以下步骤：

- 使用检测器来截获所述通量的至少一部分以便产生该样本的至少一部分的像素化图像I_j的集合{I_j}，藉此，该集合{I_j}的势为M > 1；

- 针对每个图像I_j中的每个像素p_i，确定累积信号强度S_ij，从而产生相关联的信号强度集合{S_ij}；

- 使用集合{S_ij}来计算以下值：

▪ 每个像素位置i的平均信号强度S；

▪ 每个像素位置i的S中的方差σ²_S.

- 使用这些值S和σ²_S来产生每个像素的平均X射线光子能量E的图。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，借助于每个像素位置i的函数相关性E ~ σ_S²/S来产生所述图。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，通过迭代地重复藉此在继续捕获整个第（n+1）个图像I_n+1之前捕获整个第n个图像I_n的过程来产生集合{I_j}。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中，通过迭代地重复藉此在继续至第（n+1）个像素位置之前在第n个像素位置处收集M多个不同的检测器样品的过程来产生集合{I_j}。

5.根据权利要求1-4中的任一项所述的方法，其是作为X射线层析成像过程的一部分来执行的。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，E的所述值用于执行射束硬化校正。

7.根据权利要求5或6所述的方法，其中，E的所述值用于导出样本的材料密度和每个体元的原子序号中的至少一个的值。

8.一种带电粒子显微镜，包括：

- 带电粒子源，用于产生带电粒子的照射射束；

- 粒子-光柱，用于将所述射束引导到目标上以便产生X射线束；

- 样本保持器，用于保持要被所述X射线束照射的样本；

- 检测器，用于检测响应于所述照射从该样本放射出的输出X射线的通量，

其特征在于，该带电粒子显微镜进一步包括控制器，其被配置成执行以下动作：

- 使用所述检测器来产生样本的至少一部分的像素化图像I_j的集合{I_j}，藉此，该集合{I_j}的势为M > 1；

- 针对每个图像I_j中的每个像素p_i，确定累积信号强度S_ij，从而产生相关联的信号强度集合{S_ij}；

- 使用集合{S_ij}来计算以下值：

▪ 每个像素位置i的平均信号强度S；

▪ 每个像素位置i的S中的方差σ²_S.

- 使用这些值S和σ²_S来产生每个像素的平均X射线光子能量E的图。