[发明专利]一种多层复合柔性薄膜曲面形变检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种多层复合柔性薄膜曲面形变检测装置，其特征在于，包括：

样品池、储液池、压力控制器、用于将储液池内液体送入样品池中的微型泵、图像处理计算机、二维显微载物台和三维形貌测量系统；所述三维形貌测量系统包括光栅相移投影器和CCD传感器；所述样品池固定在所述二维显微载物台上，所述样品池的池口上覆盖待侧的多层复合柔性薄膜，所述多层复合柔性薄膜与池口周边密封连接，所述压力控制器与微型泵及样品池连接；所述光栅相移投影器用于将正弦栅线投影到多层复合柔性薄膜表面，所述CCD传感器用于采集多层复合柔性薄膜变形后的正弦栅线投影图像，传送到图像处理计算机。

2.如权利要求1所述多层复合柔性薄膜曲面形变检测装置，其特征在于，所述二维显微载物台由受电机驱动的丝杠驱动以实现在直线导轨上二维移动。

3.如权利要求1所述多层复合柔性薄膜曲面形变检测装置，其特征在于，所述多层复合柔性薄膜的四周通过圆环状的垫片及螺钉与样品池相固定。

4.一种多层复合柔性薄膜曲面形变检测装置的检测方法，其特征在于，包括步骤：

S1：启动图像处理计算机，开启图像处理软件；

S2：启动微型泵和压力控制器，通过微型泵控制自储液池向样品池注入液体；通过压力控制器控制样品池内液压压强，实现多层复合柔性薄膜处于下凹或上凸状态，同时将多层复合柔性薄膜初始状态下的体积记作0，下凹状态下的体积记为负值，上凸状态下的体积记为正值，且使下凹与上凸两种形变的体积的绝对值相等；

S3：开启光栅相移投影器和CCD传感器，光栅相移投影器将正弦栅线投影到多层复合柔性薄膜表面，控制二维显微载物台移动使多层复合柔性薄膜移动，CCD传感器实时采集多层复合柔性薄膜变形后的正弦栅线投影图像，传送到图像处理计算机，利用图像处理软件分析CCD传感器传送的图像，得到多层复合柔性薄膜上凸和下凹形变后的曲率；

S4：重复步骤S2-S3，通过压力控制器及微型泵改变样品池内液压压强，得到多层复合柔性薄膜在不同液体压强参数条件下的上凸和下凹形变的三维形貌曲率。