[发明专利]柔性显示基板及其制备方法、柔性显示面板及显示装置有效
申请号: | 201711246122.9 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN107978612B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 田宏伟;牛亚男;赵梦;刘政 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32;H01L21/84 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王静 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 及其 制备 方法 面板 显示装置 | ||
本公开的实施例提供了一种柔性显示基板及其制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置。柔性显示基板包括:柔性基底,包括弯曲区域和非弯曲区域,弯曲区域包括弯曲边缘和非弯曲边缘,该非弯曲边缘沿第一方向延伸;设置在柔性基底上的弯曲区域中的至少一个晶体管,其中,晶体管包括栅极、源极、漏极以及有源层。有源层沿大致平行于第一方向的方向延伸。
技术领域
本公开涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性显示基板及其制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置。
背景技术
柔性有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,简称:OLED)器件具有自发光的特性,因此柔性OLED显示装置可视角度大,可弯折,能够根据实际需求制作各种不同形状及可弯折的器件。与硬屏显示装置相比,柔性OLED显示装置具备更加显著的优势,并且在显示技术领域的应用也越来越广泛。
在OLED显示装置中,柔性显示暴板或柔性显示面板呈现出越来越重要的地位,因此对它们的本身性能提出了更高的要求。
发明内容
鉴于上述,为了至少部分地解决上述问题,本公开的实施例提供了一种柔性显示基板、柔性显示面板、柔性显示装置以及制备柔性显示基板的方法。
在本公开的一个方面中,提供了一种柔性显示基板,包括:柔性基底,所述柔性基底包括弯曲区域和非弯曲区域,所述弯曲区域包括弯曲边缘和非弯曲边缘,所述非弯曲边缘沿第一方向延伸;设置在所述柔性基底上的弯曲区域中的至少一个晶体管,其中,所述晶体管包括栅极、源极、漏极以及有源层;所述有源层沿大致平行于所述第一方向的方向延伸。
在一个示例中,在所述有源层和所述栅极之间还设置有栅极绝缘层;所述栅极绝缘层中对应于所述晶体管周边的至少一侧形成有凹槽,所述凹槽内填充有有机材料。
在一个示例中,所述凹槽设置在所述晶体管周边平行于所述第一方向的两侧。
在一个示例中,所述凹槽贯穿所述栅极绝缘层。
在一个示例中,在柔性基底上还设置有层间绝缘层,所述层间绝缘层包括位于栅极绝缘层上方的子层间绝缘层,所述凹槽贯穿层间绝缘层并延伸到所述栅极绝缘层中。
在一个示例中,所述层间绝缘层还包括阻挡层和缓冲层中的至少一个,所述凹槽还贯穿栅极绝缘层并延伸到缓冲层中,或贯穿栅极绝缘层和缓冲层并延伸到所述阻挡层中。
在一个示例中,所述凹槽的垂直于第一方向的横截面的形状为矩形、方形或梯形。
在一个示例中,在所述凹槽的垂直于第一方向的横截面中凹槽的边缘为阶梯形。
在一个示例中,所述至少一个晶体管包括至少一个驱动晶体管,所述至少一个驱动晶体管的有源层至少部分地设置成大体长条形且沿大致平行于所述第一方向的方向延伸。
在一个示例中,所述至少一个晶体管还包括至少一个发射晶体管,所述至少一个发射晶体管的有源层至少部分地设置成大体长条形且沿大致平行于所述第一方向的方向延伸。
在本公开的另一方面中,提供了一种柔性显示面板,包括上述的柔性显示基板。
在本公开的还一方面中,提供了一种柔性显示装置,包括上述的柔性显示面板。
在本公开的又一方面中,提供了一种上述的柔性显示基板的制备方法,包括:提供柔性基底,所述柔性基底包括弯曲区域和非弯曲区域,所述弯曲区域包括弯曲边缘和非弯曲边缘,所述非弯曲边缘沿第一方向延伸;在所述柔性基底的弯曲区域形成至少一个晶体管,其中,所述晶体管包括栅极、源极、漏极以及有源层;所述有源层沿大致平行于所述第一方向的方向延伸。
在一个示例中,所述制备方法还包括:在所述有源层和所述栅极之间形成栅极绝缘层,所述栅极绝缘层中对应于所述晶体管周边的至少一侧形成有凹槽,所述凹槽内填充有有机材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的