[发明专利]辉光放电光谱法测定铝材表面氧化膜厚度的方法在审
| 申请号： | 201711245150.9 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN107966108A | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 高崇;黄瑞银;江钟宇;苏玉龙;刘贞山;赵丕植 | 申请（专利权）人： | 中铝瑞闽股份有限公司;中铝材料应用研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350015 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 辉光 放电 光谱 测定 表面 氧化 厚度 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种辉光放电光谱法测定铝材表面氧化膜厚度的方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）设定辉光光谱仪的工作条件；
（2）对带有氧化膜的铝合金试样进行由表及里的辉光放电光谱检测，获得各元素分布的强度-时间曲线；
（3）解析元素分布的强度-时间曲线，并通过各元素标准样品溅射速率获得相应的校正系数，拟合出准确的各元素含量-深度分布曲线；
（4）根据各元素含量-深度分布曲线判断氧化膜的厚度。
2.根据权利要求1所述的铝材表面氧化膜厚度的检测方法，其特征在于，步骤（1）中辉光光谱仪采用4mm的铜阳极，其工作条件为：溅射功率为30~80W、工作气压为500~900Pa。
3.根据权利要求1所述的铝材表面氧化膜厚度的检测方法，其特征在于，步骤（2）辉光放电光谱检测的时间小于1h。
4.根据权利要求1所述的铝材表面氧化膜厚度的检测方法，其特征在于，当S元素含量≤2.5%时，或当Al元素含量≥87.5%时，或当O元素含量≤4.5%时，辉光发光光谱检测的深度即为该氧化膜的厚度。
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