[发明专利]改进型调节锁紧装置

说明书

本发明提供了一种调节锁紧装置，包括：与所述微动电机连接的定位簧片；一调节单元，所述调节单元通过调节所述定位簧片的垂向高度以调整所述微动电机的垂向位置；一锁紧单元，所述锁紧单元通过锁紧所述定位簧片以锁紧所述微动电机；一配合单元，所述配合单元转移所述定位簧片施加至所述调节单元和所述锁紧单元的反作用力。本发明在实现微动电机的高度和水平度调节与锁紧的同时，将调节锁紧作业时产生的反作用力作用于自身机构壳体上，减小了对粗动壳体的影响，提升了运动台的可靠性。通过改进调节锁紧装置的结构，减小了垂向尺寸，提高了调节精度。

技术领域

本发明涉及一种集成电路装备制造领域，尤其涉及一种调节锁紧装置。

背景技术

精密运动台，一般由粗动模块和微动模块两部分组成，微动电机的动子部分(磁铁部分)与微动模块固联，其定子部分(线圈部分)与粗动模块固联，微动模块的动子部分用于承载硅片，其定子部分与粗动模块固联。通常，微动模块由微动电机来驱动其六个自由度的运动。粗动模块和微动模块之间的连接结构的设计及性能参数，直接决定了整个精密运动台的机械精度、调节环富余量大小(装配难易度)和整体的可靠性。

在申请号为201510134347.X的发明专利中，公开了一种调节锁紧装置，用于调节微动电机的垂向位置与锁紧。该调节锁紧装置实现了微动电机的高度与水平度的调节，并正在达到所需精度后进行锁紧，但该发明操作过程中存在以下问题：1)在实现调节锁紧作业时所产生的反作用力直接作用在调节锁紧装置自身结构之外的粗动壳体上，由于很多运动台的粗动壳体为碳纤维结构，只在特定方向上力学性能优异，因而在受到不同方向的较大力的长期作用后，会导致不可逆的形变发生，降低了整个运动台的可靠性；2)锁紧作业时锁紧力作用点与出力点不在同一平面上，产生额外转矩； 3)该调节锁紧装置的垂向尺寸较大，导致运动台质心较高，运动平稳性差且加工成本高。

发明内容

为了克服现有技术中存在的缺陷，本发明公开一种调节锁紧装置，用于调整微动电机的垂向位置及锁紧，包括：

与所述微动电机连接的定位簧片；

一调节单元，所述调节单元通过调节所述定位簧片的垂向高度以调整所述微动电机的垂向位置；

一锁紧单元，所述锁紧单元通过锁紧所述定位簧片以锁紧所述微动电机；

一配合单元，所述配合单元将所述调节单元与锁紧单元固定于一机构壳体，并将调节和锁紧的反作用力传递到所述机构壳体上。

进一步的，所述配合单元包括限位环孔、限位凸起，所述限位环孔位于所述机构壳体上，所述限位凸起位于所述调节单元和所述锁紧单元上。

进一步的，所述限位凸起包括上限位凸起和下限位凸起，所述上限位凸起与所述下限位凸起分别位于所述限位环孔两侧。

进一步的，其特征在于，所述限位环孔为半圆形结构。

进一步的，所述限位环孔为插入定位销的定位销孔。

进一步的，所述调节单元包括顶紧件、上楔形滑块、下楔形滑块和调节螺杆，所述顶紧件一端与所述定位簧片的调节面接触，另一端固定于所述上楔形滑块，所述上楔形滑块和下楔形滑块的楔形面相接触，所述调节螺杆的一端与所述下楔形滑块连接。

进一步的，所述顶紧件与所述定位簧片的调节面接触的一端为球面结构。

进一步的，所述锁紧单元包括锁紧件、连接件和锁紧螺杆，所述锁紧件与所述定位簧片的楔形面接触，所述连接件与所述锁紧件连接，所述锁紧螺杆的一端与所述连接件连接。

进一步的，所述连接件与所述锁紧件连接的位置、所述连接件与所述锁紧螺杆连接的位置，两者在同一高度上。

进一步的，所述调节螺杆和所述锁紧螺杆在同一水平面上。

进一步的，所述调节螺杆的直径小于所述锁紧螺杆的直径。