[发明专利]掩膜板

说明书

一种掩膜板，包括：第一掩膜基板和第二掩膜基板；第一掩膜基板开设有若干第一开口，第二掩膜基板开设有若干第二开口，每一第一开口与一第二开口一一对应；第二掩膜基板设置在第一掩膜基板上并与第一掩膜基板活动抵接，每一第一开口与其所对应的第二开口至少部分重叠。上述掩膜板，第一掩膜基板上开设第一开口，第二掩膜基板上开设第二开口，第一开口和第二开口的重叠部分组成掩膜板的开口以允许有机材料通过，第一开口和第二开口的尺寸可以设计较大、精度较低，以降低工艺难度，而最终掩膜板的开口根据需要由第一开口与第二开口重叠部分确定，仍然能够形成尺寸小、精度高的满足需求的掩模板的开口。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种精细掩膜板。

背景技术

AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode，有源矩阵有机发光二极管)的有机薄膜的蒸镀是通过掩膜板来进行的，掩膜板上有允许有机材料通过的开口，一层一层地将有机材料透过开口到基板上。掩膜板分为共用掩膜板和精细掩模板，其中，共用掩膜板由于用于蒸镀有机功能层，有机功能层的尺寸大、精度低，使得共用掩膜板上的开口尺寸大、精度低，制作工艺较简单，而精细掩模板由于用于蒸镀发光层，发光层的尺寸小、精度高，使得精细掩膜板上的开口尺寸小、精度高，制作工艺难度大。

发明内容

基于此，有必要针对现有精细掩模板上的开口尺寸小、精度高，制作工艺难度大的技术问题，提供一种精细掩膜板。

一种精细掩膜板，包括：第一掩膜基板和第二掩膜基板；所述第一掩膜基板开设有若干第一开口，所述第二掩膜基板开设有若干第二开口，每一所述第一开口与一所述第二开口一一对应；所述第二掩膜基板设置在所述第一掩膜基板上并与所述第一掩膜基板活动抵接，每一所述第一开口与其所对应的所述第二开口至少部分重叠。

在其中一个实施例中，所述第一开口的形状与所述第二开口的形状相同。

在其中一个实施例中，所述第一开口的尺寸与所述第二开口的尺寸相同。

在其中一个实施例中，所述第一开口均匀分布在所述第一掩膜基板上，所述第二开口均匀分布在所述第二掩膜基板上。

在其中一个实施例中，所述第一开口呈矩形阵列分布在所述第一掩膜基板上，所述第二开口呈矩形阵列分布在所述第二掩膜基板上。

在其中一个实施例中，所述精细掩膜板还包括紧固装置，所述第一掩膜基板和所述第二掩膜基板通过所述紧固装置固定。

在其中一个实施例中，所述第一掩膜基板和所述第二掩膜基板的形状均为矩形，所述第二掩膜基板的长宽尺寸小于所述第一掩膜基板的长宽尺寸。

在其中一个实施例中，所述紧固装置的数量为四个，四个所述紧固装置分别设置于所述第一掩膜基板的四个不同边缘上，所述第一掩膜基板和所述第二掩膜基板通过至少一个所述紧固装置固定。

在其中一个实施例中，所述紧固装置为弹性板夹，所述弹性板夹设置在所述第一掩膜基板上并与所述第一掩膜基板连接，所述第二掩膜基板的边缘夹设于所述弹性板夹和所述第一掩膜基板之间。

在其中一个实施例中，所述弹性板夹的数量为四个，四个所述弹性板夹分别设置于所述第一掩膜基板的四个不同边缘上，所述第二掩膜基板至少一个边缘夹设于一所述弹性板夹和所第一掩膜基板之间。

上述精细掩膜板，通过分别用第一掩膜基板和第二掩膜基板组成精细掩膜板，第一掩膜基板上开设第一开口，第二掩膜基板上开设第二开口，第一开口和第二开口的重叠部分组成精细掩膜板的开口以允许有机材料通过。这样，第一开口和第二开口的尺寸可以设计较大、精度较低，以降低工艺难度，而最终精细掩膜板的开口根据需要由第一开口与第二开口重叠部分确定，仍然能够形成尺寸小、精度高的满足需求的掩模板的开口。

附图说明

图1为一个实施例中精细掩膜板的结构示意图；