[发明专利]金属互连结构及其制作方法

权利要求书

1.一种金属互连结构的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

S01：提供一衬底，所述衬底上形成有至少一层金属互连层，在所述金属互连层上形成介质层；

S02：对所述介质层进行刻蚀形成通孔，在所述通孔中填满金属铜，进行化学机械研磨形成通孔结构；

S03：在所述介质层及通孔结构上形成铝衬垫层；

所述衬底包含第一区域与第二区域，在所述第一区域内形成介质层、通孔、通孔结构以及铝衬垫层的同时，在所述第二区域内也同样形成介质层、通孔、通孔结构以及铝衬垫层，所述第一区域内的通孔和所述第二区域内的通孔在同一高度，且所述第二区域内的通孔的直径大于所述第一区域内的通孔的直径，其中，形成所述第一区域内所述铝衬垫层的步骤包括：

在所述介质层与通孔结构上形成铝层；

所述第二区域内的铝层具有一凹陷，将所述凹陷作为对准标记；

通过所述对准标记对所述第一区域内的铝层进行刻蚀，形成铝衬垫层。

2.根据权利要求1所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，所述介质层依次包括刻蚀终止层和绝缘层。

3.根据权利要求1所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，所述第一区域内的通孔暴露出所述金属互连层。

4.根据权利要求1所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，所述第一区域内的通孔结构的上表面与所述介质层的上表面平齐，所述第二区域内的通孔结构的上表面低于所述介质层的上表面。

5.根据权利要求1所述的金属互连结构的制作方法，其特征在于，所述铝衬垫层的厚度为100nm-900nm。