[发明专利]静电卡盘产品污染物清洗处理的方法

权利要求书

1.静电卡盘产品污染物清洗处理的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、高压水枪冲洗静电卡盘产品；

步骤2、擦拭静电卡盘产品正面及侧面水分；

步骤3、使用蘸有异丙醇的无尘布擦拭静电卡盘正面及侧面；

步骤4、使用蘸有乙醇的无尘布擦拭静电卡盘正面及侧面；

步骤5、使用蘸有乙醇的无尘布擦拭静电卡盘背面；

步骤6、对静电卡盘进行高压水枪的冲洗；

步骤7、气体吹干静电卡盘产品。

2.根据权利要求1所述的静电卡盘产品污染物清洗处理的方法，其特征在于：所述步骤1和6水压控制在25-35公斤。

3.根据权利要求2所述的静电卡盘产品污染物清洗处理的方法，其特征在于：所述步骤1和6高压水枪的枪口距离产品50cm以上。

4.根据权利要求3所述的静电卡盘产品污染物清洗处理的方法，其特征在于：所述步骤2采用无尘布擦拭掉静电卡盘正面的水分。

5.根据权利要求1、2、3或4所述的静电卡盘产品污染物清洗处理的方法，其特征在于：所述步骤3和步骤至少重复两次。

6.根据权利要求5所述的静电卡盘产品污染物清洗处理的方法，其特征在于：所述步骤7使用2公斤压力的CDA气体吹干静电卡盘产品，气枪枪口离静电卡盘产品50cm以上。