[发明专利]一种蓝宝石单晶炉底部加热器及单晶炉

权利要求书

1.一种蓝宝石单晶炉底部加热器，包括发热体，其特征在于，所述发热体为带状结构，且发热体包含外层段、自外层段弯折处向内弯折的中层段、自中层段弯折处向内弯折的内层段；所述外层段的长度大于中层段的长度；中层段的长度大于内层段的长度；所述外层段的横截面积小于中层段的横截面积、中层段的的横截面积小于内层段的横截面积。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉底部加热器，其特征在于：所述外层段弯折处的横截面积小于外层段的横截面积；所述中层段弯折处的横截面积小于中层段的横截面积。

3.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶炉底部加热器，其特征在于：所述外层段分为两个对称的半圆形外段，且半圆形外段的两端为向内弯折的外层段弯折处，所述中层段包括四个弧形段，且弧形段自外层段弯折处沿着半圆形外段的内侧向半圆形外段中间位置延伸；每个半圆形外段的两端分别向内各自延伸出弧形段，且该自同一个半圆形外段两端延伸出的两个弧形段相向延伸；每个弧形段延伸的末端为中层段弯折处；所述内层段包括两个对称的半圆形内段，且每个半圆形内段的两端与两个中层段弯折处连接。

4.根据权利要求3所述的蓝宝石单晶炉底部加热器，其特征在于：所述两个半圆形外段为轴对称，所述两个半圆形内段同样为轴对称，且两个半圆形外段的对称轴与两个半圆形内段的对称轴垂直。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的蓝宝石单晶炉底部加热器，其特征在于：所述发热体为石墨材质。

6.根据权利要求5所述的蓝宝石单晶炉底部加热器，其特征在于：所述发热体的为首尾相接的带状结构。

7.根据权利要求3或4所述的蓝宝石单晶炉底部加热器，其特征在于：还包括与发热体连接的两个石墨电极，其中一个石墨电极为输入端，另一个石墨电极为输出端，所述的两个石墨电极与发热体连接后通直流电或单相交流电。

8.根据权利要求7所述的蓝宝石单晶炉底部加热器，其特征在于：所述每个石墨电极对应连接一个半圆形外段，所述石墨电极连接在半圆形外段的中央处并自该半圆形外段向下延伸。

9.根据权利要求7所述的蓝宝石单晶炉底部加热器，其特征在于：发热体与石墨电极之间设有柔性垫片，通过螺栓将石墨电极与发热体紧固连接；所述的发热体、石墨电极、螺栓的材质均为高强度等静压石墨；所述的柔性垫片的材质为石墨纸

10.一种单晶炉，其特征在于，包含根据权利要求1至9中任一项所述的蓝宝石单晶炉底部加热器。