[发明专利]压力传感器校准装置及方法

权利要求书

1.一种压力传感器校准装置，其包括：

相关器，其具有相关器输入和相关器输出，所述相关器输入适于耦合到第一电容值和第二电容值的源，所述相关器被配置为基于所述第一电容值和所述第二电容值来确定相关系数值并且在所述相关器输出处输出所述相关系数值，所述第一电容值在对第一压力传感器的物理测试期间被确定，所述第二电容值在对所述第一压力传感器的第一电气测试期间被确定，所述物理测试包括将所述第一压力传感器暴露于第一压力以及基于施加的所述第一压力来确定所述第一电容值，并且所述第一电气测试包括将所述第一压力传感器暴露于第一电压以及基于施加的所述第一电压来确定所述第二电容值；以及

校准器，其具有第一校准器输入和第二校准器输入，所述第一校准器输入适于耦合到所述相关器输出，所述第二校准器输入适于耦合到第三电容值的源，所述校准器被配置为基于所述相关系数值和所述第三电容值来确定校准系数值，所述第三电容值在对第二压力传感器的第二电气测试期间被确定，并且所述第二电气测试包括将所述第二压力传感器暴露于第二电压以及基于施加的所述第二电压来确定所述第三电容值。

2.根据权利要求1所述的压力传感器校准装置，其中所述相关器包括压力/电容相关器，所述压力/电容相关器被配置为处理所述第一电容值以便确定说明在环境压力下的最小电容的第四电容值，并且所述相关器被配置为使用所述第四电容值来确定所述相关系数值。

3.根据权利要求1所述的压力传感器校准装置，其中所述相关器包括电压/电容相关器，所述电压/电容相关器被配置为处理所述第二电容值以便确定说明向所述第一压力传感器施加的最小电压的第四电容值，并且所述相关器被配置为使用所述第四电容值来确定所述相关系数值。

4.根据权利要求1所述的压力传感器校准装置，其中所述校准器被配置为确定所述校准系数值，以便校准所述第二压力传感器而不用对所述第二压力传感器执行物理测试。

5.根据权利要求1所述的压力传感器校准装置，其中所述校准器包括重构器，所述重构器被配置为预测所述第二压力传感器的第四电容值而不用对所述第二压力传感器执行物理测试。

6.根据权利要求1所述的压力传感器校准装置，其中所述校准器被配置为确定包括所述第二压力传感器的多个压力传感器的校准系数值。

7.根据权利要求1所述的压力传感器校准装置，其中所述相关器被配置为产生表格以便将所述相关系数值与所述第一压力相关联。

8.一种校准压力传感器的方法，所述方法包括：

通过用至少一个处理器执行至少一个指令：基于在对第一压力传感器的物理测试期间确定的第一电容值以及在对所述第一压力传感器的第一电气测试期间确定的第二电容值来确定相关系数值；以及

基于所述相关系数值以及在对第二压力传感器的第二电气测试期间确定的第三电容值来确定校准系数值以便校准所述第二压力传感器，

其中所述物理测试包括将所述第一压力传感器暴露于第一压力以及基于施加的所述第一压力来确定所述第一电容值，并且所述第一电气测试包括将所述第一压力传感器暴露于第一电压以及基于施加的所述第一电压来确定所述第二电容值，并且所述第二电气测试包括将所述第二压力传感器暴露于第二电压以及基于施加的所述第二电压来确定所述第三电容值。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述相关系数值的确定包括处理所述第一电容值以便确定说明在环境压力下的最小电容的第四电容值以及使用所述第四电容值来确定所述相关系数值。

10.根据权利要求8所述的方法，其中所述校准系数值的确定包括预测所述第二压力传感器的第四电容值而不用对所述第二压力传感器执行物理测试。

11.根据权利要求8所述的方法，其中所述物理测试包括将所述第一压力传感器暴露于第一压力，并且所述方法还包括产生表格以便将所述相关系数值与所述第一压力相关联。