[发明专利]蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置量测方法及装置

说明书

本发明公开了一种氧化膜蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置量测方法，在机械手臂基座上安装激光光源和光电探测器，在传输腔顶部安装反射器；向反射器发送激光脉冲，然后用光电探测器接受从反射器返回的激光，通过探测激光脉冲的往返飞行时间来得到机械手臂的Y轴方向位置信息。本发明还公开了一种氧化膜蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置测量装置。本发明能够及时知道机械手臂Y轴方向的状态，便于发现故障原因。

技术领域

本发明涉及集成电路制造设备领域，特别是涉及一种氧化膜蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置量测方法。本发明还涉及一种氧化膜蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置测量装置。

背景技术

TEL tactras(东电电子公司蚀刻机TRCTRAS平台)平台设备主要用于氧化膜刻蚀工艺，该平台的传输腔体中机械手臂及其基座设计成可以前后移动，使得平台可以挂载6个工艺腔体。机械手臂的运动分为R轴方向，Θ轴方向，和Y轴方向。

R轴方向：手臂的伸缩方向。

Θ轴方向：手臂的旋转方向。

Y轴方向：手臂和基座的前后移动方向。

机械手臂具体运动的控制方式是：

1.R轴方向，Θ轴方向：由机械手臂下方两个电机通过电机转动控制。

2.Y轴方向：由导航螺杆控制手臂基座的前后移动。

Y轴方向运动的缺点是：

(1)、手臂基座由两侧的滑竿支撑，基座和轴套相固定，导航螺杆由伺服电机驱动控制轴套前后移动。因此，轴套的移动带动基座在滑竿上滑动。这样的控制方式，依赖伺服电机的精确控制。

(2)、导航螺杆和轴套的相互摩擦，导致金属磨损并产生间隙，使得手臂Y轴方向的运动的精确性下降。

(3)、基座和轴套由4颗螺丝固定，由于不断的往返运动，螺丝可能松动，使得手臂Y轴方向的运动偏差。在极端的条件下，螺丝甚至脱落。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种氧化膜蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置量测方法，能够及时知道机械手臂Y轴方向的状态，便于发现故障原因；为此，本发明还要提供一种氧化膜蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置测量装置。

为解决上述技术问题，本发明的氧化膜蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置量测方法是采用如下技术方案实现的：在机械手臂基座上安装激光光源和光电探测器，在传输腔顶部安装反射器；向反射器发送激光脉冲，然后用光电探测器接受从反射器返回的光，通过探测光脉冲的往返飞行时间来得到机械手臂的Y轴方向位置信息。

所述氧化膜蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置测量装置，包括：

一激光光源，安装在机械手臂基座上，用于发射激光脉冲；

一反射器，安装在传输腔顶部，用于反射激光光源发射的激光脉冲；

一光电探测器，安装在机械手臂基座上，用于接收反射器发射的激光脉冲。

所述的测量装置通过探测激光脉冲的往返飞行时间来得到机械手臂的Y轴方向位置信息。

采用本发明的方法和装置，能够实时了解机械手臂在Y轴方向的位置。这样可以及时的知道机械手臂Y轴方向的状态，便于发现故障原因，增加工艺稳定性，减少制品缺陷产生。

附图说明

下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：

图1是所述氧化膜蚀刻设备真空传输腔内机械手臂位置测量装置示意图。

具体实施方式