[发明专利]显影装置

权利要求书

1.一种显影装置，其中，

所述显影装置具备：

显影液调制装置，其将包含显现碱性的显影液的主成分的显影原液与纯水混合，而调制浓度被设定好的所述显影液作为显影新液；

显影新液用管路，其输送从所述显影液调制装置向反复使用的所述显影液补给的所述显影新液；

显影原液用管路，其输送向所述反复使用的所述显影液补给的所述显影原液；

纯水用管路，其输送向所述反复使用的所述显影液补给的纯水；以及

显影液管理装置，其以使所述反复使用的所述显影液的碱成分浓度或所述显影液的导电率成为规定的管理值或落入规定的管理范围的方式进行管理。

2.根据权利要求1所述的显影装置，其中

所述显影液管理装置还具备控制机构，

所述控制机构具备：

数据存储部，其存储有导电率数据，该导电率数据按照以所述反复使用的所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的所述反复使用的所述显影液的导电率值；以及

控制部，其将根据所述反复使用的所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值而确定的浓度区域的存储于所述数据存储部的所述导电率值作为控制目标值，以使所述反复使用的所述显影液的导电率成为所述控制目标值的方式向设于所述显影新液用管路的控制阀、设于所述显影原液用管路的控制阀及设于所述纯水用管路的控制阀中的至少任一方发送控制信号。

3.根据权利要求1所述的显影装置，其中

所述显影液管理装置还具备控制机构，

所述控制机构具备：

数据存储部，其存储有碱成分浓度数据，该碱成分浓度数据按照以所述反复使用的所述显影液的与溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的吸光度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的所述反复使用的所述显影液的碱成分浓度值；以及

控制部，其将根据所述反复使用的所述显影液的吸光度及吸收二氧化碳浓度的测定值而确定的浓度区域的存储于所述数据存储部的所述碱成分浓度值作为控制目标值，以使所述反复使用的所述显影液的碱成分浓度成为所述控制目标值的方式向设于所述显影新液用管路的控制阀、设于所述显影原液用管路的控制阀及设于所述纯水用管路的控制阀中的至少任一方发送控制信号。

4.根据权利要求2所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置还具备多个测定装置，所述多个测定装置对所述反复使用的所述显影液的多个特性值进行测定，该多个特性值包含与所述反复使用的所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的所述反复使用的所述显影液的特性值、及与所述反复使用的所述显影液的吸收二氧化碳浓度具有关联的所述反复使用的所述显影液的特性值，

所述显影液管理装置的所述控制机构还具备运算部，所述运算部根据由所述多个测定装置测定出的所述显影液的多个特性值并利用多变量解析法来算出所述反复使用的所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值。

5.根据权利要求2所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置还具备：

多个测定装置，其对所述反复使用的所述显影液的多个特性值进行测定，该多个特性值包含与所述反复使用的所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的所述反复使用的所述显影液的特性值、及与所述反复使用的所述显影液的吸收二氧化碳浓度具有关联的所述反复使用的所述显影液的特性值；以及

运算机构，其根据由所述多个测定装置测定出的所述反复使用的所述显影液的多个特性值并使用多变量解析法来算出所述反复使用的所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值。

6.根据权利要求2所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置还具备密度仪，

所述显影液管理装置的所述控制机构还具备运算部，所述运算部基于所述反复使用的所述显影液的吸收二氧化碳浓度与密度之间的对应关系，根据由所述密度仪测定出的所述反复使用的所述显影液的密度值来算出所述反复使用的所述显影液的吸收二氧化碳浓度的测定值。

7.根据权利要求2所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置还具备：

密度仪；以及

运算机构，其基于所述反复使用的所述显影液的吸收二氧化碳浓度与密度之间的对应关系，根据由所述密度仪测定出的所述反复使用的所述显影液的密度值来算出所述反复使用的所述显影液的吸收二氧化碳浓度的测定值。