[发明专利]显影装置

权利要求书

1.一种显影装置，其中，

所述显影装置具备：

显影液调制装置，其将包含显现碱性的显影液的主成分的显影原液与纯水混合，而调制浓度被设定好的所述显影液作为显影新液；

显影新液用管路，其输送从所述显影液调制装置向反复使用的所述显影液补给的所述显影新液；

显影原液用管路，其输送向所述反复使用的所述显影液补给的所述显影原液；

纯水用管路，其输送向所述反复使用的所述显影液补给的纯水；以及

显影液管理装置，其以使所述反复使用的所述显影液的成分浓度或与所述成分浓度具有关联的特性值成为规定的管理值或落入规定的管理范围的方式进行管理。

2.根据权利要求1所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置还具备：

测定部，其对与所述反复使用的所述显影液的成分浓度具有关联的所述反复使用的所述显影液的多个特性值进行测定；

运算部，其基于由所述测定部测定出的所述多个特性值并利用多变量解析法来算出所述反复使用的所述显影液的成分浓度；以及

控制部，其基于从由所述测定部测定的所述多个特性值或由所述运算部算出的所述成分浓度中选择的管理对象项目的测定值或算出值，向设于所述显影新液用管路的控制阀、设于所述显影原液用管路的控制阀以及设于所述纯水用管路的控制阀中的至少任一方发送控制信号。

3.根据权利要求2所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置的所述测定部具备：

第一测定机构，其对与所述反复使用的所述显影液的成分中的至少碱成分的浓度具有关联的所述反复使用的所述显影液的特性值进行测定；以及

第二测定机构，其对与所述反复使用的所述显影液的成分中的至少溶解于所述反复使用的所述显影液中的光致抗蚀剂的浓度具有关联的所述反复使用的所述显影液的特性值进行测定。

4.根据权利要求3所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置的所述运算部具备算出所述反复使用的所述显影液的碱成分的浓度及光致抗蚀剂的浓度的运算模块，

所述显影液管理装置的所述控制部具备：

第一控制模块，其以使由所述运算模块算出的碱成分的浓度成为规定的管理值的方式向所述控制阀发送控制信号；以及

第二控制模块，其以使由所述运算模块算出的光致抗蚀剂的浓度成为规定的管理值以下的方式向所述控制阀发送控制信号。

5.根据权利要求3所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置的所述测定部还具备第三测定机构，所述第三测定机构对与所述反复使用的所述显影液的成分中的至少被所述反复使用的所述显影液吸收的二氧化碳的浓度具有关联的所述反复使用的所述显影液的特性值进行测定。

6.根据权利要求5所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置的所述运算部具备算出所述反复使用的所述显影液的二氧化碳的浓度的运算模块，

所述显影液管理装置的所述控制部具备：

第三控制模块，其以使由所述第一测定机构测定的所述反复使用的所述显影液的特性值成为规定的管理值的方式向所述控制阀发送控制信号；

第四控制模块，其以使由所述第二测定机构测定的所述反复使用的所述显影液的特性值落入规定的管理区域的方式向所述控制阀发送控制信号；以及

第五控制模块，其以使由所述运算模块算出的二氧化碳的浓度成为规定的管理值以下的方式向所述控制阀发送控制信号。

7.根据权利要求5所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置的所述运算部具备算出所述反复使用的所述显影液的碱成分的浓度及二氧化碳的浓度的运算模块，

所述显影液管理装置的控制部具备：

第一控制模块，其以使由所述运算模块算出的碱成分的浓度成为规定的管理值的方式向所述控制阀发送控制信号；

第四控制模块，其以使由所述第二测定机构测定的所述反复使用的所述显影液的特性值落入规定的管理区域的方式向所述控制阀发送控制信号；以及

第五控制模块，其以使由所述运算模块算出的二氧化碳的浓度成为规定的管理值以下的方式向所述控制阀发送控制信号。

8.根据权利要求5所述的显影装置，其中，

所述显影液管理装置的所述运算部具备算出所述反复使用的所述显影液的碱成分的浓度、光致抗蚀剂的浓度及二氧化碳的浓度的运算模块，

所述显影液管理装置的所述控制部具备：

第一控制模块，其以使由所述运算模块算出的碱成分的浓度成为规定的管理值的方式向所述控制阀发送控制信号；

第二控制模块，其以使由所述运算模块算出的光致抗蚀剂的浓度成为规定的管理值以下的方式向所述控制阀发送控制信号；以及

第五控制模块，其以使由所述运算模块算出的二氧化碳的浓度成为规定的管理值以下的方式向所述控制阀发送控制信号。