[发明专利]一种离型膜、柔性器件制备方法、离型膜和柔性器件

说明书

本发明实施例涉及柔性器件制造技术领域，尤其涉及一种离型膜、柔性器件制备方法、离型膜和柔性器件，用以实现降低离型膜与玻璃基板剥离难度，并提高离型膜的静电释放能力。本发明实施例中在玻璃基板上涂敷包括金属纳米粒子和带有亲水基团的碳纳米材料的混合溶液；将玻璃基板上的混合溶液加热烘干，得到附着在玻璃基板的离型膜。如此，带有亲水基团的碳纳米材料和金属纳米粒子组成的混合溶液形成的离型层与玻璃基板表面具有一定的结合力，但相较于现有技术中的高分子型离型膜与玻璃的结合力弱，进而可以降低离型膜与玻璃基板的剥离难度；而且金属纳米粒子具有导电性，可以提高离型膜的静电释放能力。

技术领域

本发明实施例涉及柔性器件制造技术领域，尤其涉及一种离型膜、柔性器件制备方法、离型膜和柔性器件。

背景技术

在柔性器件的制作过程中，常在玻璃基板上涂敷、固化高分子前驱体以形成柔性基板，并将电子和光学器件制作于柔性基板上。在完成后续的电子和光学器件制程后，通过激光照射(LLO，简称Laser Lift-off)将玻璃基板离去，得到柔性器件。

现有技术中，由于采用LLO剥离玻璃基板时易损伤柔性基板和电子器件，一般在玻璃基板和柔性基板之间引入高分子材料制备的离型层，在器件制作完成后再通过LLO将玻璃基板从柔性基板上剥离。这种高分子材料制备的离型层具有绝缘特性，聚集在电子或光学器件中的静电荷不易释放，静电荷容易对薄膜晶体管造成静电击穿损害。

发明内容

本发明实施例提供一种离型膜、柔性器件制备方法、离型膜和柔性器件，实现降低离型膜与玻璃基板剥离难度，并提高离型膜的静电释放能力。

本发明实施例提供一种离型膜制备方法，包括：在玻璃基板上涂敷包括金属纳米粒子和带有亲水基团的碳纳米材料的混合溶液；将所述玻璃基板上的所述混合溶液加热烘干，得到附着在所述玻璃基板的离型膜。

可选的，所述碳纳米材料包括以下内容中的任一种或任多种：氧化石墨烯、石墨烯和碳纳米管。

可选的，所述金属纳米粒子包括以下内容中的任一种或任多种：金纳米粒子、银纳米粒子、钯纳米粒子、镍纳米粒子、铜纳米粒子、铂纳米粒子。

可选的，所述金属纳米粒子为银纳米线。

可选的，所述混合溶液中的所述带有亲水基团的碳纳米材料和所述金属纳米粒子的质量比为0.2～5。

可选的，所述混合溶液中的溶剂为极性溶剂。

本发明实施例提供一种柔性器件制备方法，包括：在玻璃基板上形成上述任一实施例提供的离型膜制备方法制备的离型膜；在所述离型膜上形成柔性基板；在所述柔性基板上完成OLED电子器件制作后，将所述玻璃基板从所述离型层剥离，得到柔性器件。

可选的，所述将所述玻璃基板从所述离型层剥离，包括：通过机械力将所述玻璃基板从所述离型层剥离。

本发明实施例提供一种离型膜，包括上述任一实施例提供的离型膜制备方法制备的离型膜。

本发明实施例提供一种柔性器件，包括上述任一实施例提供的柔性器件制备方法制备的柔性器件。

本发明实施例中，在玻璃基板上涂敷包括金属纳米粒子和带有亲水基团的碳纳米材料的混合溶液；将玻璃基板上的混合溶液加热烘干，得到附着在玻璃基板的离型膜。如此，一方面，由于带有亲水基团的碳纳米材料具有弱亲水性，可以与玻璃基板表面的亲水性基团形成化学键，与玻璃基板表面形成分子间作用力；另一方面，由于金属纳米粒子具有憎水性，与玻璃基板表面不形成分子间作用力。如此，带有亲水基团的碳纳米材料和金属纳米粒子组成的混合溶液形成的离型层与玻璃基板表面具有一定的结合力，但相较于现有技术中的高分子型离型膜与玻璃的结合力弱，进而可以降低离型膜与玻璃基板的剥离难度；而且金属纳米粒子具有导电性，可以提高离型膜的静电释放能力。

附图说明