[发明专利]一种基板旋转装置以及基板对位方法

权利要求书

1.一种基板旋转装置，其包括：

基座；

工作平台，所述工作平台用于支撑基板；

所述基座的顶面与所述工作平台的底面之间设置有至少一个驱动所述工作平台运动的驱动装置，所述驱动装置包括驱动机构和与之连接的引导机构；

其特征在于：

所述引导机构包括引导所述工作平台在水平面内移动的直线引导机构和支撑旋转机构，所述支撑旋转机构连接所述直线引导机构与所述工作平台，所述旋转装置还包括从动引导装置，所述从动引导装置为直线从动模组，所述直线从动模组安装在所述基座上，并与所述支撑旋转机构连接，以支撑所述工作平台；通过所述驱动装置的组合使用控制所述工作平台进行直线平移和/或转动和/或转动偏移。

2.根据权利要求1所述的旋转装置，其特征在于：所述引导机构还包括润滑机构，所述润滑机构润滑所述引导机构。

3.根据权利要求2所述的旋转装置，其特征在于：所述直线引导机构包括在水平面内互相垂直设置的直线引动模组，所述支撑旋转机构为轴承。

4.根据权利要求3所述的旋转装置，其特征在于：所述直线引动模组包括两个相互平行设置的X轴直线引动模组，以及一个与所述X轴直线引动模组垂直设置的Y轴直线引动模组。

5.根据权利要求4所述的旋转装置，其特征在于：所述直线引动模组包括模组基座、丝杆和导轨组件，所述丝杆分别与所述驱动机构和所述导轨组件连接，所述模组基座支撑所述直线引动模组的各部件，所述模组基座与旋转装置的所述基座固定连接，所述导轨组件与所述轴承连接。

6.根据权利要求5所述的旋转装置，其特征在于：所述导轨组件包括与所述丝杆平行设置的第一导轨部以及与所述丝杆垂直设置的第二导轨部，所述第一导轨部与所述丝杆连接，所述第二导轨部分别与所述第一导轨部和所述轴承连接。

7.根据权利要求6所述的旋转装置，其特征在于：所述第一导轨部包括第一导轨和与之配合的第一滑块，所述第二导轨部包括第二导轨和与之配合的第二滑块，所述第一导轨设置在所述模组基座上，所述第一滑块与所述丝杆连接，所述第二导轨设置在所述第一滑块上，所述轴承连接所述第二滑块与所述工作平台。

8.根据权利要求5-7任意一项所述的旋转装置，其特征在于：所述直线从动模组平行于所述Y轴直线引动模组设置。

9.根据权利要求8所述的旋转装置，其特征在于：所述直线从动模组包括从动模组基座和从动导轨组件，所述从动模组基座支撑所述从动导轨组件，所述从动模组基座与旋转装置的基座固定连接，所述导轨组件与所述轴承连接。

10.根据权利要求9所述的旋转装置，其特征在于：所述从动导轨组件包括互相垂直的第一从动导轨部和第二从动导轨部，所述第一从动导轨部与所述从动模组基座连接，所述第二从动导轨部分别与所述第一从动导轨部和所述轴承连接。

11.根据权利要求10所述的旋转装置，其特征在于：所述第一从动导轨部包括第一从动导轨和与之配合的第一从动滑块，所述第二从动导轨部包括第二从动导轨和与之配合的第二从动滑块，所述第一从动导轨设置在所述从动模组基座上，所述第二从动导轨设置在所述第一从动滑块上，所述轴承连接所述第二从动滑块与所述工作平台。

12.根据权利要求7中所述的旋转装置，其特征在于：所述直线引动模组还包括位置传感器和限位件。

13.根据权利要求12所述的旋转装置，其特征在于：所述位置传感器为光电传感器，所述限位件包括设置于所述模组基座上的位于所述第一滑块两侧的限位块。

14.根据权利要求3-7任意一项所述的旋转装置，其特征在于：所述轴承为交叉滚柱轴承。