[发明专利]硅片湿刻自动上片机

权利要求书

1.硅片湿刻自动上片机，其特征在于：包括第一竖向输送带(1)、第二竖向输送带(2)；

所述第一竖向输送带(1)与第二竖向输送带(2)平行；所述第二竖向输送带(2)的一端与第一竖向输送带(1)之间设置有电池片转运装置(5)；所述第一竖向输送带(1)与第二竖向输送带(2)之间设置有横向输送带(3)；所述第二竖向输送带(2)一侧设置有横向输送带(3)；

所述横向输送带(3)具有支撑座(31)，横向输送带(3)两个相对侧的支撑座(31)支架设置有连接横梁(32)；所述横向输送带(3)一端的连接横梁(32)上设置有延伸出横向输送带(3)的支撑板(33)，所述支撑板(33)上设置有硅片横向输送装置(4)，所述硅片横向输送装置(4)与支撑板(33)之间设置有竖向伸缩装置(6)；

所述第一竖向输送带(1)与第二竖向输送带(2)均为包括两条平行传送带的输送带；所述第一竖向输送带(1)与第二竖向输送带(2)之间的横向输送带(3)的硅片横向输送装置(4)位于第一竖向输送带(1)的两条传送带之间；

所述第二竖向输送带(2)一侧的横向输送带(3)的硅片横向输送装置(4)位于第二竖向输送带(2)的两条传送带之间；

电池片转运装置(5)包括安装座(51)，旋转臂(53)；所述旋转臂(53)的中间位置绕旋转臂(53)的竖向中心线转动安装在安装座(51)上；所述安装座(51)上设置有驱动旋转臂(53)转动的驱动电机(52)；

所述旋转臂(53)的两端均设置有吸盘(54)；所述吸盘(54)通过升降装置(55)安装在旋转臂(53)上；

所述吸盘(54)上方设置有限位架(56)；所述限位架(56)在水平面内四个方向的任意方向上均具有支杆；所述限位架(56)的每个支杆上均设置有可以沿支杆水平滑动的竖向限位杆(57)；所述竖向限位杆(57)通过锁紧装置固定在支杆上；所述竖向限位杆(57)延伸到吸盘(54)的下方。

2.如权利要求1所述的硅片湿刻自动上片机，其特征在于：所述竖向伸缩装置(6)采用液压缸。

3.如权利要求2所述的硅片湿刻自动上片机，其特征在于：所述限位架(56)的每个支杆上均设置有滑孔，所述竖向限位杆(57)一端设置与滑孔匹配的滑动轴，所滑动轴穿过滑孔，且设置有锁紧螺母。

4.如权利要求3所述的硅片湿刻自动上片机，其特征在于：所述限位架(56)为十字限位架。

5.如权利要求4所述的硅片湿刻自动上片机，其特征在于：所述升降装置(55)采用液压缸。

6.如权利要求5所述的硅片湿刻自动上片机，其特征在于：所述硅片横向输送装置(4)的结构与横向输送带(3)的结构相同。