[发明专利]一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法、装置及系统

权利要求书

1.一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，其特征在于，包括：

发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；

获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；

根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；

发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试并根据扫描信息判断所述下一个芯片是否合格。

2.根据权利要求1所述的MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，其特征在于，所述扫描测试信息还包括芯片在待测晶圆上的位置标识，所述判断所述芯片质量是否合格之后，还包括：

显示所述待测晶圆的芯片分布图，并根据所述位置标识在所述芯片分布图的对应位置显示是否合格标识。

3.根据权利要求1所述的MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，其特征在于，所述发送测试控制指令之前，还包括：

显示各电阻的电阻标识；

获取并存储所述电阻标识对应的电阻范围。

4.根据权利要求3所述的MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，其特征在于，所述判断所述芯片质量是否合格之后，还包括：

显示所述当前芯片对应的各电阻的实测电阻值及各电阻是否合格标识。

5.一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测装置，其特征在于，包括：

第一发送模块，用于发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；

获取及存储模块，用于获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；

判断模块，用于根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；

第二发送模块，用于发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试并根据扫描信息判断所述下一个芯片是否合格。

6.根据权利要求5所述的MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测装置，其特征在于，所述扫描测试信息还包括芯片在待测晶圆上的位置标识，所述装置还包括：

第一显示模块，用于显示所述待测晶圆的芯片分布图，并根据所述位置标识在所述芯片分布图的对应位置显示是否合格标识。

7.根据权利要求5所述的MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测装置，其特征在于，还包括：

第二显示模块，用于：显示各电阻的电阻标识；

所述获取及存储模块，还用于获取并存储所述电阻标识对应的电阻范围。

8.根据权利要求6所述的MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测装置，其特征在于，所述第二显示模块，还用于：

显示所述当前芯片对应的各电阻的实测电阻值及各电阻是否合格标识。

9.一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测系统，其特征在于，包括检测装置、探针台及电阻测试装置，待测晶圆固定在所述探针台上，所述探针台用于带动所述待测晶圆按预设轨迹移动，所述电阻测试装置用于测试所述待测晶圆的芯片上的各电阻的电阻值，所述检测装置包括：第一发送模块，用于发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；获取及存储模块，用于获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；判断模块，用于根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；第二发送模块，用于发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试并根据扫描信息判断所述下一个芯片是否合格。

10.根据权利要求9所述的MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测系统，其特征在于，所述电阻测试装置包括电阻测试仪及探针卡，所述探针卡位于所述探针台上。