[发明专利]一种用于检测储存硅片氮气柜内部环境颗粒的方法在审
| 申请号： | 201711219064.0 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108051347A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 徐燕华;沈思情;宋洪伟;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 201604 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 储存 硅片 氮气 柜内 环境 颗粒 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于检测储存硅片氮气柜内部环境颗粒的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
(1)检测空白测试硅片的表面颗粒，记录颗粒数量为K
(2)将测试硅片放置于片盒中，且保留缝隙，得到测试盒；
(3)将测试盒放置于氮气柜中，放置设定时间后，取出测试盒；
(4)测定步骤(3)取出的测试盒中的测试硅片的表面颗粒，记录颗粒数量为K
(5)判断：当|K
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测试盒的片盒的额定满载片数为25片。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测试盒的前端部、中部和后端部均各自至少放置2片测试硅片。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(3)所述设定时间为2h以上。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述表面颗粒度的检测采用颗粒检测仪检测，且步骤(1)和步骤(4)所述表面颗粒度的测试方法相同。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述操作满足环境十级洁净度要求。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述氮气柜的温度为21～25℃，湿度为10～15％。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述氮气柜的氮气流量为95～105L/min。
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