[发明专利]一种超纯洁净气体过滤装置

说明书

技术领域

本发明涉及过滤装置，尤其涉及一种超纯洁净气体过滤装置。

背景技术

超纯洁净气体由氢、氧、氮、氩、氦、氨、二氧化铵、四氧化碳各类气体氢化物及二元或三元以上的混合气等组成，它们大部分是从空气、天然气、石油化工和合成氨厂的残余气体中提取后进一步精制得到，根据原料气来源情况、杂质组份含量、纯度要求来选择相应的制备方法；集成电路发展到兆位级后，对超净提出了更严格要求，在超纯气体或电子气体供气系统中，为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子，在使用气前须安装过滤器。

发明内容

本申请人针对以上缺点，进行了研究改进，提供一种超纯洁净气体过滤装置。

本发明所采用的技术方案如下：

一种超纯洁净气体过滤装置，包括外壳，所述外壳包括筒体，筒体两端连接封头，封头分别连接入口接头和出口接头，所述外壳内设置若干滤芯，所述滤芯中空，且一端封闭一端开口，所述滤芯开口一端固定在花盘上，滤芯另一端穿在固定在筒体内的布气压板上，所述布气压板上均匀开设若干布气孔。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述入口接头和出口接头均为VCR接头。

所述滤芯为多孔金属烧结滤芯。

本发明的有益效果如下：所述超纯洁净气体过滤装置，将待处理气体通过入口接头进入外壳，通过布气压板均匀布气，进入滤芯筒，通过滤芯过滤即可产生超纯净气体，且超纯洁净气体过滤装置，能耐更高的温度和压力，过滤效率更高，结构强度更好，且使用寿命更长。

附图说明

图1为本发明提供的超纯洁净气体过滤装置的剖视图。

图2为本发明提供的超纯洁净气体过滤装置布气压板的示意图。

图中：1、筒体；2、封头；3、入口接头；4、出口接头；5、滤芯；6、花盘；7、布气压板。

具体实施方式

下面结合附图，说明本发明的具体实施方式。

如图1、图2所示，本实施例的超纯洁净气体过滤装置，包括外壳，外壳包括筒体1，筒体1由压板段、中间段和花盘段三段密封焊接而成，筒体1压板段和花盘段密封焊接封头2，所述外壳和封头内部必须抛光至Ra0.2，防止内部污,封头2分别连接入口接头3和出口接头4，入口接头3和出口接头4均为VCR接头，将泄露率降低为4X10-9std cm3/s,有效避免气源泄露造成的危险，外壳内设置四根滤芯5，滤芯5由多孔金属烧结材料制成，滤芯5中空，且一端封闭一端开口，滤芯5的开口端固定在花盘6上，滤芯5另一端穿在固定在筒体1内的布气压板7上，布气压板7上均匀开设若干布气孔,所述超纯洁净气体过滤装置制造完成后需经过严格的保压、氦检漏、颗粒度和水分的测试。

所述超纯洁净气体过滤装置使用时，待处理气体通过入口接头3进入外壳内，待处理气体通过封头2和布气压板7上的布气孔均匀布气，提高单根滤芯5的过滤效果，更有效延长了过滤装置的使用寿命，气体穿过滤芯5，进行过滤，过滤后从滤芯5开口一端排出，形成超纯洁净气体，最后超纯洁净气体从封头2和出口接头4排出外壳外。

所述超纯洁净气体过滤装置进行反冲洗时，将超纯洁净气体从出口接头4通入外壳内，超纯洁净气体通过封头2、花盘6进入滤芯5的中空孔内，将附着在滤芯5外表面的杂质和颗粒吹落下来，掉落在筒体1内，通过布气压板7的布气孔和封头2，最终通过入口接头3排出外壳，从而保证滤芯5的清洁，使之能够循环使用，延长使用寿命。

以上描述是对本发明的解释，不是对发明的限定，本发明所限定的范围参见权利要求，在不违背本发明的基本结构的情况下，本发明可以作任何形式的修改。