[发明专利]一种用于真空系统中的水冷蝶阀

权利要求书

1.一种用于真空系统中的水冷蝶阀，包括O型密封圈(10)、蝶板(7)、阀体(2)、阀杆(4)、焊接件(3)和步进电机(9)，其特征在于，所述阀体(2)底部设有O型密封圈(10)，所述阀体(2)内部设有阀杆(4)，所述阀杆(4)底部与蝶板(7)连接，所述阀体(2)顶部设有阀盖(1)，所述阀盖(1)一侧设有凹槽(6)，所述阀杆(4)顶部一侧设有磁流体空心轴法兰式带水冷(8)，所述磁流体空心轴法兰式带水冷(8)一侧设有定位插销(5)，所述磁流体空心轴法兰式带水冷(8)顶部设有焊接件(3)，所述焊接件(3)包括上法兰(11)、中间体(12)和下法兰(13)，所述焊接件(3)顶部设有步进电机(9)，所述步进电机(9)底部设有加长轴(16)，所述步进电机(9)通过加长轴(16)与阀杆(4)连接，所述加长轴(16)两侧设有铣扁(15)。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空系统中的水冷蝶阀，其特征在于，所述阀盖(1)、阀体(2)、阀杆(4)、焊接件(3)、定位插销(5)、凹槽(6)、蝶板(7)、磁流体空心轴法兰式带水冷(8)、步进电机(9)、铣扁(15)和加长轴(16)去除毛刺飞边。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空系统中的水冷蝶阀，其特征在于，所述O型密封圈(10)材料由氟橡胶制成。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空系统中的水冷蝶阀，其特征在于，所述阀盖(1)、阀体(2)、阀杆(4)、焊接件(3)、定位插销(5)、凹槽(6)和步进电机(9)由不锈钢材料制成，所述蝶板(7)由铝合金制成。

5.根据权利要求1或4所述的一种用于真空系统中的水冷蝶阀，其特征在于，所述焊接件(3)顶部设有螺栓孔(14)且在焊接件(3)焊接后制作。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空系统中的水冷蝶阀，其特征在于，所述蝶板(7)直径为247mm且厚度为3mm。

7.根据权利要求1所述的一种用于真空系统中的水冷蝶阀，其特征在于，所述磁流体空心轴法兰式带水冷(8)去油配胶圈。