[发明专利]一种基于六维调整的反转法直线度测量装置

权利要求书

1.一种基于六维调整的反转法直线度测量装置，包括传感器安装臂（1）、传感器安装座（2）、微位移传感器（27）、反转平尺（4）、六维调整平台（5），其特征是，所述微位移传感器（27）安装在传感器安装座上，传感器安装座（25）固定在传感器固定臂（1）上，传感器固定臂（1）安装在被测导轨（8）上，可随被测导轨移动；所述六维调整平台（5）底座由三个支撑脚（53）和三点支撑平台基板（54）组成，其中两个支撑脚对称分布在平台一侧，另一个支撑脚分布在平台另一侧中间；所述六维调整平台（5）主调整体由两个三维微位移台（52）和三个平尺支撑球（51）组成，三维微位移台（52）固定于三点支撑平台基板（54）两侧，两个三维微位移台（52）上基面分别固定1个和2个平尺支撑球（51）；所述反转平尺（4）放置于三个平尺支撑（51）上；反转平尺（4）两端有直线两点标识球（42）。

2.根据权利要求1所述的一种基于六维调整的反转法直线度测量装置，其特征在于：反转直线六维姿态调整由六维调整平台（5）实现，由底部三个支撑脚（54）和上面两个三维微位移台（52）实现；具体调整过程为：调整底部双支撑脚（53）那一侧的支撑脚（53），可调整反转平尺（4）滚转角β；同步调整两个三维微位移台（52）,可调整反转平尺（4）x、y、z三个方向的位移；沿x方向调整其中一个三维微位移台（52），可调整反转平尺（4）偏摆角θ；沿z方向调整其中一个三维微位移台（52），可调整反转平尺（4）俯仰角α。

3.根据权利要求1所述的一种基于六维调整的反转法直线度测量装置，其特征在于：反转平尺（41）两端有直线两点标识球（42），通过球面进行反转直线（43）的位置测量定位。

4.根据权利要求3所述的一种基于六维调整的反转法直线度测量装置，其特征在于：反转直线（43）的位置测量定位采用以下步骤进行：

A、移动导轨（8）使微位移传感器（27）对准终止点直线两点标识球（42），调整六维调整平台（5）上面的两个三维微位移台（52），使直线两点标识球（42）在微位移传感器（27）测量范围内；

B、移动导轨（8）使微位移传感器（27）对准另一端直线两点标识球（42），调整六维调整平台（5），使直线两点标识球（42）在微位移传感器（27）测量范围内；

C、移动导轨使微位移传感器（27）测量点处于平尺上，z方向调整两个三维微位移台（52）并观察微位移传感器（27）示值，若示值变化，调整六维调整平台（5）底部支撑脚（53），直至微位移传感器（27）在竖直方向移动时示值保持不变；

D、移动导轨（8）使微位移传感器（27）对准起始点直线两点标识球（42），观察微位移传感器（27）示值并沿Z方向调整六维调整平台（5），使直线两点标识球（42）竖直方向移动，直至调整到微位移传感器（27）示值极小值位置；

E、移动导轨（8）使微位移传感器（27）对准另一端直线两点标识球（42），重复步骤四操作;

F、移动导轨（8）使微位移传感器（27）对准起始点直线端点标识球（42）并沿导轨运动方向调整六维调整平台（5），使直线两点标识球（42）沿导轨运动方向小范围移动，直至调整到微位移传感器（27）示值极小值位置。