[发明专利]太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法在审

专利信息
申请号: 201711213674.X 申请日: 2017-11-28
公开(公告)号: CN109834859A 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 韩勇 申请(专利权)人: 四川高铭科技有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00;B24B27/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 625000 *** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 出片率 配浆 单晶硅片切割 碳化硅微粉 单晶硅棒 太阳能级 粘棒 粘接 切割 烘箱 砂浆搅拌桶 线切割工艺 玻璃 硅片中心 温度设定 胶水 砂浆 定位条 切割线 粘接面 烘烤 镀铜 放入 浆料 进给 压棒 冷却 取出 清洁 配置
【权利要求书】:

1.一种太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法,具体包括粘棒工艺、配浆工艺、线切割工艺:

粘棒工艺:首先清洁单晶硅棒粘接面,然后用胶水分别粘接定位条和玻璃、玻璃和单晶硅棒,粘棒之后要进行压棒,压好后继续粘接下一套棒;

配浆工艺:a、配浆之前要把所需配的碳化硅微粉放入烘箱内至少8个小时,温度设定在70~80℃,至少在配浆前1小时取出冷却;

b、配置浆料的时候,将碳化硅微粉慢慢倒入砂浆搅拌桶并充分搅拌均匀;

线切割工艺:镀铜切割线的直径为0.1mm,并且线速度在9.3~10.5m/s,工件的进给速度不超过0.3mm/s,砂浆的流量不超过3100L/h。

2.根据权利要求1所述的太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法,其特征在于,所述粘棒工艺中,胶水按照1:1的比例进行调配,并且调胶的速度不超过3分钟。

3.根据权利要求1所述的太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法,其特征在于,粘棒之后采用10kg左右的重物进行压棒,持续至少6小时。

4.根据权利要求1所述的太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法,其特征在于,所述的配浆工艺中,配浆用的切削液,要保存于环境温度为23℃~27℃范围内、湿度控制在60%以内,粘度在26~30范围内。

5.根据权利要求1或4所述的太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法,其特征在于,所述的配浆工艺中,配好的浆料必须存放于环境温度在23℃~27℃、湿度在60%的范围内,密度控制在1.625~1.635范围内,粘度在40~60范围内。

6.根据权利要求1所述的太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法,其特征在于,配浆的比例控制在砂:液=1:0.92。

7.根据权利要求6所述的太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法,其特征在于,配浆的比例控制在砂:液=1:0.92。

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