[发明专利]一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构在审
申请号: | 201711201072.2 | 申请日: | 2017-11-27 |
公开(公告)号: | CN109839682A | 公开(公告)日: | 2019-06-04 |
发明(设计)人: | 韩崇利 | 申请(专利权)人: | 成都中源红科技有限公司 |
主分类号: | G02B1/14 | 分类号: | G02B1/14;G02B1/115 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610100 四川省成都市*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 保护膜 硫化锌 保护层 红外光学窗口 类金刚石膜层 硫化锌膜层 硒化锌膜层 膜系结构 粘接层 多层减反射膜 硫化锌材料 强度保护层 薄膜材料 窗口表面 反射损失 高速运动 基底结合 极端环境 膜层沉积 牢固度 吹尘 多层 膜系 制备 抵抗 应用 | ||
1.一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构,其特征在于,包括基片和高强度保护膜系;所述基片由硫化锌材料制成;所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成;所述膜系依次包括:类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层;所述类金刚石膜层有2-5层,其厚度为20-30nm;所述硒化锌膜层有1-3层,其厚度为10-20nm;所述硫化锌膜层有5-8层,其厚度为30-50nm。
2.根据权利要求1所述的一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构,其特征在于,包括基片和高强度保护膜系;所述基片由硫化锌材料制成;所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成;所述膜系依次包括:类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层;所述类金刚石膜层有2层,其厚度为20nm;所述硒化锌膜层有1层,其厚度为10nm;所述硫化锌膜层有5层,其厚度为30nm。
3.根据权利要求1所述的一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构,其特征在于,包括基片和高强度保护膜系;所述基片由硫化锌材料制成;所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成;所述膜系依次包括:类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层;所述类金刚石膜层有3层,其厚度为23nm;所述硒化锌膜层有2层,其厚度为15nm;所述硫化锌膜层有6层,其厚度为35nm。
4.根据权利要求1所述的一种硫化锌红外光学窗口保护膜的膜系结构,其特征在于,包括基片和高强度保护膜系;所述基片由硫化锌材料制成;所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成;所述膜系依次包括:类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层;所述类金刚石膜层有5层,其厚度为30nm;所述硒化锌膜层有3层,其厚度为20nm;所述硫化锌膜层有8层,其厚度为50nm。
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