[发明专利]一种高效率纳米材料真空镀膜机

权利要求书

1.一种高效率纳米材料真空镀膜机，包括主泵(12)、排气机构(18)与机身(30)，所述机身(30)的下端活动安装有万向轮(1)，且机身(30)的前端外表面中间位置处设置有操作面板(2)，所述操作面板(2)的外表面固定安装有主泵开关(8)，所述操作面板(2)的外表面靠近主泵开关(8)的一侧设置有辅助泵开关(9)，且操作面板(2)的外表面靠近主泵开关(8)的另一侧设置有急停按钮(10)，所述主泵(12)固定安装在机身(30)的上端外表面，所述主泵(12)的上端外表面固定安装有玻璃钟罩(5)，且主泵(12)的下端外表面固定安装有辅助泵(11)，所述主泵(12)的一侧外表面固定安装有一号不锈钢波纹管(6)，且主泵(12)的一侧外表面靠近玻璃钟罩(5)的上方固定安装有主泵真空表(29)，所述一号不锈钢波纹管(6)的下方设置有三通阀门(7)，所述玻璃钟罩(5)的下端外表面靠近主泵(12)的一侧固定安装有单向阀门(4)，且玻璃钟罩(5)的内部中间位置处设置有基板(21)，所述玻璃钟罩(5)靠近下端的四周固定安装有维修孔(14)，相邻两组所述维修孔(14)之间设置有蒸发电极(15)，所述蒸发电极(15)通过嵌入式对称安装在玻璃钟罩(5)的内部，所述维修孔(14)的一侧分别设置有真空计孔(23)与真空密封孔(22)；

所述机身(30)的内部靠近辅助泵(11)的一侧设置有蒸发电源(13)，所述排气机构(18)设置在机身(30)的内部靠近辅助泵(11)的另一侧，所述蒸发电源(13)的前端外表面设置有蒸发电源开关(24)，所述蒸发电源(13)的前端外表面靠近蒸发电源开关(24)的一侧固定安装有蒸发电源提手(25)，且蒸发电源(13)的前端外表面靠近蒸发电源开关(24)的另一侧固定安装有显示屏(27)，所述蒸发电源(13)的前端外表面靠近蒸发电源开关(24)的下方设置有散热孔(26)，所述蒸发电源(13)的前端外表面靠近显示屏(27)的下方设置有参数调节键(28)，所述排气机构(18)的下方设置有底座(20)，且排气机构(18)的下端设置有脚轮(19)，所述机身(30)的后端外表面靠近排气机构(18)的位置处固定安装有排气口(17)。

2.根据权利要求1所述的一种高效率纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述万向轮(1)的数量为四组，且其平行设置，所述万向轮(1)的内部均设置有制动片。

3.根据权利要求1所述的一种高效率纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述操作面板(2)的四周均设置有固定螺栓，且操作面板(2)通过固定螺栓与机身(30)固定连接，所述操作面板(2)外表面靠近上方的位置处固定安装有设备铭牌，所述主泵开关(8)、辅助泵开关(9)与急停按钮(10)的上方均设有与之对应的指示灯。

4.根据权利要求1所述的一种高效率纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述辅助泵(11)的一侧外表面固定安装有辅助泵真空表(3)，且辅助泵(11)的另一侧外表面设置有二号不锈钢波纹管(16)，所述二号不锈钢波纹管(16)与一号不锈钢波纹管(6)的出口端与三通阀门(7)连接。

5.根据权利要求1所述的一种高效率纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述排气口(17)的下端设置有排气管，且排气口(17)通过排气管与排气机构(18)相连接。

6.根据权利要求1所述的一种高效率纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述蒸发电源(13)的外表面设置有防护外壳，且蒸发电源(13)通过防护外壳安装在机身(30)的内部，所述蒸发电极(15)与蒸发电源(13)电性连接。

7.根据权利要求1所述的一种高效率纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述脚轮(19)的数量为四组。

8.根据权利要求1所述的一种高效率纳米材料真空镀膜机，其特征在于：所述主泵(12)与辅助泵(11)的中心线在同一水平面，且主泵(12)与辅助泵(11)、主泵(12)与玻璃钟罩(5)的连接处均设置有完好的密封。