[发明专利]一种用于重稀土晶界扩渗的生产线及生产方法

权利要求书

1.一种用于重稀土晶界扩渗的生产线，其特征在于，包括物料传输系统、单片成型压机、烧结机构、清洗机构、镀膜机构、真空扩渗炉和控制单元；

所述物料传输系统、单片成型压机、烧结机构、清洗机构、镀膜机构和真空扩渗炉分别与所述控制单元连接；

所述物料传输系统包括第一传输组件、第二传输组件、第三传输组件和第四传输组件；所述单片成型压机的出料口通过所述第一传输组件与所述烧结机构的进料口连接，所述烧结机构的出料口通过所述第二传输组件与所述清洗机构的进料口连接，所述清洗机构的出料口通过所述第三传输组件与镀膜机构的进料口连接，所述镀膜机构的进料口通过所述第四传输组件与所述真空扩渗炉的进料口连接；

所述单片成型压机通过所述第一传输组件向所述烧结机构逐一提供基片，所述烧结机构对所述基片进行烧结；所述第二传输组件将烧结后的基片输送至所述清洗机构，所述清洗机构对所述基片进行清洗；所述第三传输组件将清洗后的基片输送至镀膜机构，所述镀膜机构向所述基片的表面溅射重稀土，形成重稀土层；所述第四传输组件将镀膜后的基片输送至真空扩渗炉，所述真空扩渗炉对所述基片进行热处理，以实现重稀土扩渗；

所述烧结机构包括多室连续烧结炉，所述多室连续烧结炉包括除杂室、烧结室、冷却室、第一插板阀、第二插板阀、第三插板阀和移载组件，所述第一插板阀设于所述除杂室的进料口，所述第二插板阀的两端分别与所述除杂室的出料口与所述烧结室的进料口连接，所述第三插板阀的两端分别与所述烧结室的出料口与所述冷却室的进料口连接，所述移载组件用于承载所述基片，并带动所述基片移动，使其依次通过所述除杂室、烧结室与冷却室。

2.根据权利要求1所述的生产线，其特征在于，所述镀膜机构包括镀膜机，所述镀膜机包括进样室、缓冲室、清洗室、镀膜室、降温室、出样室和传送机构；所述缓冲室的出料口与清洗室的进料口之间、所述清洗室的出料口与镀膜室的进料口之间、所述镀膜室的出料口与降温室的进料口之间、所述降温室的出料口与出样室的进料口之间均通过闸板阀和真空密封组件连接，所述传送机构用于承载所述基片，并带动所述基片移动，使其依次通过所述进样室、缓冲室、清洗室、镀膜室、降温室与出样室，以实现所述基片单面镀膜。

3.根据权利要求2所述的生产线，其特征在于，所述镀膜机构还包括翻转传输机，所述镀膜机的出料口和入料口之间的传输路径上设置有传输机构，所述翻转传输机的进料口和出料口通过所述传输机构分别与所述镀膜机的出料口和进料口连接，所述传输机构用于传送承载所述基片的载料盘，所述翻转传输机用于翻转所述载料盘中的基片，以使基片在所述镀膜机内进行正面单面镀膜后，经由所述翻转传输机翻转并重新经过所述镀膜机进行反面单面镀膜。

4.根据权利要求3所述的生产线，其特征在于，所述翻转传输机包括能沿轴线翻转的翻转架，所述翻转架内设有翻转区，所述翻转区的两侧分别设有上下相对的一对夹紧机构，其中，位于上部的所述夹紧机构用于夹紧预置在所述翻转区上部的一个载料盘，位于下部的所述夹紧机构用于夹紧进入所述翻转区内的另一个载料盘、并驱动该载料盘朝向预置的载料盘移动；以使两个所述载料盘的两端对齐并夹紧；所述翻转架通过翻转能同步带动两个所述载料盘的位置互换。

5.根据权利要求1所述的生产线，其特征在于，所述真空扩渗炉包括气源、真空泵组、炉体和加热箱，所述气源通过进气管路与所述炉体连接，且所述进气管路上设有进气阀；所述真空泵组通过抽气管路与所述炉体连接，且所述抽气管路上设有高真空阀；所述加热箱设于所述炉体内，且所述加热箱内设有物料支撑架，用于承载所述基片；所述气源和真空泵组分别向所述炉体内充放气，所述加热箱对所述基片进行热处理，以实现重稀土扩渗。

6.根据权利要求5所述的生产线，其特征在于，所述加热箱包括隔热反射屏、支撑框架和加热器；所述隔热反射屏铺设在所述支撑框架上构成箱体，所述加热器设于所述箱体内。