[发明专利]具有抽真空的双膜片和真空监控装置的隔膜密封组件

权利要求书

1.一种隔膜密封组件(1)，具有：

基体(10)，其具有至少一个第一膜片(31；31A)和第二膜片(32；32A)，

第一测量仪器(MG)，用于监控过程介质的压力，以及

第二测量仪器(LEG)，其中

所述第一膜片(31；31A)朝向要监控的过程介质，

所述第二膜片(32；32A)朝向流体填充的压力路径(50)，以及

在所述第一膜片(31；31A)和所述第二膜片(32；32A)之间构成中间空间(51)，其中所述中间空间(51)是被抽真空的并且所述第二测量仪器(LEG)监控在所述中间空间(51)中存在的真空，

其特征在于，

围绕所述第一膜片(31；31A)的外边缘但是在第二膜片(32；32A)的外边缘之内安置有圆形的环形通道。

2.根据权利要求1所述的隔膜密封组件(1)，

其中在所述基体(10)中设置有凹进部，以便在所述基体(10)中设置至少两个凹进部台阶，所述凹进部台阶通过预定的最小间距、台阶高度(H)彼此间隔开并且用于设置所述第一膜片(31；31A)和第二膜片(32；32A)，其中所述第一膜片(31；31A)的外边缘设置在一个凹进部台阶上而所述第二膜片(32；32A)的外边缘设置在另一凹进部台阶上。

3.根据权利要求2所述的隔膜密封组件(1)，

其中在两个膜片或焊接条之间的预定的最小间距为0.02mm-1.5mm。

4.根据权利要求2所述的隔膜密封组件(1)，

其中在两个膜片之间的最小间距通过凹进部台阶尺寸(H)限定，该凹进部台阶尺寸比所述第二膜片(32)的厚度(d)大0.05mm-1.5mm。

5.根据权利要求2所述的隔膜密封组件(1)，

其中所述预定的最小间距通过在所述膜片(32)的膜片厚度(d)和所述凹进部台阶的尺寸之间的差来形成，所述差在0.01mm-1.2mm的范围内。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的隔膜密封组件(1)，

其中所述第一膜片(31A)和所述第二膜片(32A)构建为管式膜片形式并且所述第一膜片(31A)设置在所述第二膜片(32A)之内，其中所述第一膜片(31A)的外边缘是所述第一膜片的外环周，而所述第二膜片(32A)的外边缘是所述第二膜片的外环周，并且其中所述第一膜片(31A)的外环周和所述第二膜片(32A)的外环周通过预定的最小间距来间隔开。

7.根据权利要求2至5中任一项所述的隔膜密封组件(1)，

其中所述基体(10)还具有与所述第二测量仪器(LEG)流体连接的槽(40)，所述槽设置在所述第二膜片(32)的凹进部台阶中并且横向上在所述第二膜片(32)的外边缘之外。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的隔膜密封组件(1)，

其中所述第二测量仪器(LEG)和在所述第一膜片(31；31A)和所述第二膜片(32；32A)之间的中间空间(50)通过通道(25，26；25C，26；25A；25A，25B，26)流体连接，并且其中抽真空接头(41)与所述通道(25，26；25C，26；25A；25A，25B，26)气密地连接，所述抽真空接头(41)双重气密地封闭。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的隔膜密封组件(1)，

其中阀和/或膜装置集成在所述通道(25，26；25C，26；25A；25A，25B，26)中，所述阀和/或膜装置保护第二测量仪器(LEG)在泄漏情况下以免过压。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的隔膜密封组件(1)，

其中所述膜片(31；31A；32；32A)具有0.01mm-0.5mm的厚度，和/或所述膜片(31；31A；32；32A)波形地构成，具有0.5mm-20mm的波长，和0.1mm-2.0mm的双倍的幅度，或台阶形地构成，具有0.5mm-20mm的台阶间距。