[发明专利]一种纤维增强金属基复合材料Y2O3涂层的物理气相沉积方法有效
| 申请号： | 201711186781.8 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN108004517B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 黄浩;王敏涓;李虎;黄旭;沙爱学;李臻熙 | 申请（专利权）人： | 中国航发北京航空材料研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 11008 中国航空专利中心 | 代理人： | 仉宇<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 100095 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纤维 增强 金属 复合材料 base sub | ||
【权利要求书】：
1.一种纤维增强金属基复合材料Y2O3涂层的物理气相沉积方法，所述沉积方法为直流磁控溅射式沉积方法，所述沉积方法中使用SiC纤维基体和纯钇靶材；包括如下步骤：
步骤1、物理气相沉积方法中的工作气体为氩气，反应气体为氧气，氧气和氩气的流量比为5％～15％，工作压强为0.4～2Pa，沉积温度为500℃～600℃；将沉积偏压分为两个区间，第一区间为-250～-150V，第二区间为-50～-100V；
步骤2、对SiC纤维基体进行物理气相沉积，且在沉积过程中，使得偏压在第一区间和第二区间之间交替变换，交替变换形成相交替变换的Y2O3涂层，相邻两层的Y2O3涂层分别为单斜相和立方相；
在步骤2之前，将带C涂层的连续SiC纤维排列定位在支架上，SiC纤维丝间距保持在0.2～1mm；
交替变换形成的各相涂层总厚度为2～5μm。
2.根据权利要求1所述的一种纤维增强金属基复合材料Y2O3涂层的物理气相沉积方法，其特征在于：交替变换为均匀时间间隔变换或非均匀时间间隔变换。
3.根据权利要求1或2所述的一种纤维增强金属基复合材料Y2O3涂层的物理气相沉积方法，其特征在于：交替变换次数为8～100次。
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