[发明专利]气液混合机构、工艺设备及气液混合方法

说明书

一种气液混合方法，包括以下步骤：输入氮气至药液；细化氮气为氮气气泡，并加压氮气气泡，使氮气气泡混入至药液而为第一具氮气气泡之药液；以及蓄压第一具氮气气泡之药液。此外，一种气液混合机构与工艺设备亦被提出。

技术领域

本发明是有关于一种气液混合机构、工艺设备与气液混合方法，且特别是有关于一种降低药液劣化情况的气液混合机构、工艺设备与气液混合方法。

背景技术

于现代高科技产业的制造的过程中，基板需要经过多道加工程序，例如清洗、蚀刻、涂布、显影等制造程序，会采用特定药液去执行相对应的制造程序。

由于药液无法避免在传输路径上接触大气，以显影设备为例，大气中的气体元素(如CO2)跟药液反应为碳酸水(H2CO3)而使药液有劣化的情况。针对此显影液劣化的问题，一般是在药液槽内灌入惰性气体，借由惰性气体不易反应的特性，避免药液与大气中的气体元素产生反应。然，由于惰性气体不容易溶解于药液内，导致防治显影液劣化的效果不佳。

因此，如何提升药液寿命与良率，进而减少药液更换时间与降低制造成本，是为极重要的课题。

发明内容

本发明的一目的在于，解决药液劣化问题，延长药液使用寿命，进而减少药液更换时间与降低制造成本，并增加生产制造效能。

本发明的一实施例提出一种气液混合机构，包括一第一氮气溶解装置以及一减压阀模组。第一氮气溶解装置包括一第一汇流管、一第一细化管以及一第一蓄压筒。第一细化管连通于第一汇流管，该第一细化管内设置一第一细化装置，一氮气与一药液由第一汇流管流入至第一细化管时，第一细化装置是细化氮气为一氮气气泡。第一蓄压筒连通于第一细化管，第一蓄压筒的管径大于第一细化管的管径，以降低药液的流速并加压氮气气泡，使氮气气泡混入至药液而为一第一具氮气气泡之药液。减压阀模组连通于第一蓄压筒，减压阀模组用以调节并蓄压第一蓄压筒内第一具氮气气泡之药液之压力。

本发明的一实施例提出一种工艺设备，包括一药液槽、处理装置以及一气液混合机构。药液槽存储一药液。处理装置是以药液槽提供之药液处理一基板。气液混合机构是接收药液槽之药液，气液混合机构包括一第一氮气溶解装置以及一减压阀模组。第一氮气溶解装置包括一第一汇流管、一第一细化管以及一第一蓄压筒。第一细化管连通于第一汇流管，该第一细化管内设置一第一细化装置，一氮气与一药液由第一汇流管流入至第一细化管时，第一细化装置是细化氮气为一氮气气泡。第一蓄压筒连通于第一细化管，第一蓄压筒的管径大于第一细化管的管径，以降低药液的流速并加压氮气气泡，使氮气气泡混入至药液而为一第一具氮气气泡之药液。减压阀模组连通于第一蓄压筒，减压阀模组用以调节并蓄压第一蓄压筒内第一具氮气气泡之药液之压力。

本发明的一实施例提出一种气液混合方法，包括以下步骤：输入一氮气至一药液；细化氮气为一氮气气泡，并加压氮气气泡，使氮气气泡混入至药液而为一第一具氮气气泡之药液；以及蓄压第一具氮气气泡之药液。

基于上述，在本发明的气液混合机构、工艺设备与气液混合方法中，借由氮气溶解于药液之内，可确实有效抑制药液中含二氧化碳量或含氧量的增加，达到防止药液劣化的功能。

再者，经由上述管径不同的结构差异，以加压氮气气泡，除了提升氮气气泡之压力以外，也可提升总体气体压力之饱和度，提升氮气气泡之压力，亦可增加氮气气泡溶解于药液的含量，可使氮气气泡更能溶解于药液之内，延长药液使用寿命，进而减少药液更换时间与降低制造成本，并增加生产制造效能。

此外，借由蓄压筒与减压阀模组的配置，以将压力蓄集到蓄压筒之内，故可维持氮气气泡溶解于药液的含量。

附图说明

图1为本发明之气液混合机构第一实施例的示意图。

图2为本发明之第一氮气溶解装置的示意图。

图3为本发明之第一细化装置的示意图。