[发明专利]半导体封装结构有效
申请号: | 201711180440.X | 申请日: | 2013-12-04 |
公开(公告)号: | CN107818959B | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 黄仕铭;林俊宏;陈奕廷;詹士伟;张永兴;李天伦 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/488;H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 骆希聪 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 结构 | ||
1.一种半导体封装结构,其特征在于,包括:
一第一基板,具有一上表面;
一第二基板,具有一下表面,其中该第一基板的上表面是面对该第二基板的下表面;
一晶粒,电性连接至该第一基板的上表面;
数个内连接元件,电性连接所述第一基板及所述第二基板,该内连接元件包括一上部及一下部,其中该上部接合该下部以形成一接合部,该下部具有一肩部,该肩部围绕该接合部,该下部更具有一顶面及一外围表面,该顶面为平面,该肩部是位于该顶面及该外围表面的交接处;及
一包覆材料,位于该第一基板的上表面及该第二基板的下表面之间,且包覆该晶粒及所述内连接元件;
其中,该第一基板上表面部分覆盖一第一介电层,第二基板的下表面部分覆盖一第二介电层,其中该包覆材料处于B阶段胶材的状态时即黏附该第一介电层与该第二介电层。
2.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,该第一基板更具有数个第一基板上导电垫,该第二基板更具有数个第二基板下导电垫;该上部电性连接所述第二基板下导电垫,该下部电性连接所述第一基板上导电垫。
3.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,该第一基板更具有一下表面及数个第一基板下导电垫,所述第一基板下导电垫显露于该第一基板下表面,且所述第一基板上导电垫显露于该第一基板上表面;该第二基板更具有一上表面及数个第二基板上导电垫,所述第二基板上导电垫显露于该第二基板上表面,且所述第二基板下导电垫显露于该第二基板下表面。
4.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,该下部的体积大于该上部的体积。
5.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,该外围表面为弧面,且该顶面是平行该第一基板上导电垫。
6.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,该晶粒的一背面与该第一基板的上表面的距离为第一高度h1,该肩部与该第一基板的上表面的距离为第二高度h2,该肩部与该第二基板的下表面的距离为第三高度h3,其中h1>h2,且h2+h3>h1。
7.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,该下部与该第一基板上导电垫接触的区域具有一第一宽度,该上部与该第二基板下导电垫接触的区域具有一第二宽度,该下部本身具有一最大宽度,该下部更具有一顶面,该顶面具有一第三宽度,该接合部具有一第四宽度,其中该最大宽度大于该第一宽度、该第二宽度及该第三宽度,且该第三宽度大于该第四宽度。
8.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,该包覆材料具有数个容纳槽以容纳所述内连接元件,所述容纳槽的侧壁的形状与所述内连接元件完全相符,且所述内连接元件的外表面接触所述容纳槽的侧壁。
9.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,该包覆材料具有数个容纳槽以容纳所述内连接元件,且所述容纳槽的形状是由所述内连接元件所定义。
10.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,该包覆材料为非导电膜、非导电胶或ABF。
11.如权利要求1所述的半导体封装结构,其特征在于,该包覆材料包含一区域A1及一区域A2,其中该区域A1为该包覆材料的最左侧边向右延伸一预设距离,该预设距离为该包覆材料最大宽度的10%,且该区域A2为该包覆材料的最右侧边向左延伸该预设距离,其中位于该区域A1及该区域A2的填充粒子的粒径分布及密度相同。
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