[发明专利]一种声子晶体声表面波滤波器及制作方法

权利要求书

1.一种声子晶体声表面波滤波器，包括：压电衬底、发送换能器、声子晶体点阵、接收换能器；其中，

所述接收换能器的数量为N个，其中N至少等于2；

所述发送换能器、接收换能器，形成于压电衬底上表面；

所述声子晶体点阵位于所述发送换能器、接收换能器围成区域的中心位置；

所述发送换能器为发散状叉指换能器，单个叉指电极与指根电极的垂直方向的夹角在0°～60°之间；

所述声子晶体点阵分为至少2个区域，用于偏转声表面波的传播方向。

2.如权利要求1所述的声子晶体声表面波滤波器，其特征在于，还包括：栅阵列；其中

栅阵列的数量至少一个，形成于所述压电衬底的上表面，分别置于声子晶体点阵与各个接收换能器之间。

3.如权利要求1或2所述的声子晶体声表面波滤波器，其特征在于，还包括：温度补偿层；

所述温度补偿层形成于所述声子晶体声表面波滤波器表面，用于抑制滤波器的温漂特性。

4.如权利要求1所述的声子晶体声表面波滤波器，其特征在于，声子晶体点阵形成于压电衬底内，靠近压电衬底上表面。

5.如权利要求1所述的声子晶体声表面波滤波器，其特征在于，接收换能器为平行状叉指换能器。

6.如权利要求1所述的声子晶体声表面波滤波器，其特征在于，各接收换能器之间的叉指电极宽度各不相同，用于接收不同频率的声表面波。

7.一种声子晶体声表面波滤波器的制作方法，用于制作权利要求1至6任一项所述的声子晶体声表面波滤波器，包括：

压电衬底上表面抛光，下表面打磨；

制备发送换能器与接收换能器；

在压电衬底中开孔，形成声子晶体点阵。

8.如权利要求7所述的声子晶体声表面波滤波器的制作方法，其特征在于，还包括：

制备栅阵列；

形成温度补偿层。